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小巧又功能强大的手持式控制器该套装的控制器采用MicroUSB充电线和5号电池双电源供电，用电池供电时可以显示剩余电量，还可以设置自动关闭时间来节省电量，带背光的LED显示屏让真空读数在阳光下和漆黑的环境中都清晰可见。inficon可以设置Pa,kPa,mbar,Torr,mTorr等11种压力单位，还可以选择自然计数或者科学记数法来显示读数。

如果你设置一个报警值，它还可以在真空泵抽到某个真空度时给出声音提示，这样就不用一直盯着真空读数了。有经验的工程师通常可以通过分析压升或者压降的曲线来判断系统是否泄漏或者判断故障的原因，inficon控制器可以记录并显示压力曲线，并且可以根据压力的变化直接显示实时的状态：

抽气（Pump），压力在不断下降

稳定（Stable），压力保持不变

放气（Outgas），压力在不断上升，但压升率越来越小

泄漏（Leak），压力在不断上升，但压升率没有明显的变化

控制器的背后带可收起的支架，可以斜着立在桌面上；还有磁铁，可以吸在管道，机架，甚至泵身上。连接规管的螺旋软线方便收纳， 很长可以拉到2米多。柔软的橡胶保护套使控制器握感舒适，又耐磨耐摔。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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感压薄膜上的电极分别与固定电极、参考电极构成敏感电容和参考电容，伺服电极位于感压薄膜下方，通过施加静电力使感压薄膜在测量真空度的过程中处于一个确定的位置，从而实现宽范围的动态压力测量。当被测压力为p时，要使感压薄膜处于平衡状态，则施加在感压薄膜上的单位面积的静电力Fe应于压力p相等，

静电力平衡式inficon电容薄膜真空规管结构图当伺服电压为VS时，薄膜上所受的静电力Fe为：式中：ε0为真空腔室的介电常数；d是伺服电极与薄膜间的距离。由式（2）、式（3）得伺服电压与压力p的关系为：如图10所示，静电力平衡式inficon电容薄膜真空计的信号处理电路由微电容测量电路和静电力控制回路组成。其中，微电容测量电路用来对敏感电容的变化量测量得到压力信号，而静电力控制回路用来产生伺服电压。

图10静电力平衡式inficon电容薄膜真空计测量电路结构图为了保证静电力平衡式inficon电容薄膜真空计具有高精度以及良好的稳定性，静电力控制回路须要产生准确稳定的静电力。通常采用PID控制器作为静电力控制回路中的静电力控制器。

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安装晶振的集成机箱 真空腔体压强测量与外壳检漏

有些器件需要在真空条件下工作，就要将这些器件密封在腔体中，这样腔体中压强要测量，外壳也需要捡漏，并要估计漏率的大小。因为石英晶振体积比较小，选用石英真空计测量压强是合适的。只要将石英晶振密封在腔体中，用两根引线引出腔体即可。腔体的漏率可以用以下公式计算：漏率Q=V×dp/dt，式中V是腔体体积，dp是在dt时间内压强的变化。

若初始压强为10Pa，存放两天后压强上升到20Pa，体积为2cm3，可算出漏率为1.2×10-10Pa.m3/S。如有漏，可用密封材料堵怀疑有漏的地方,若压强不再变化，说明漏洞就在这个地方。

市电供应困难的环境

测量几万伏高压处的压强，真空计的外壳要接高压火线，可用石英真空计来测量。因为石英真空计的功率小，可用电池供电，这样可将石英真空计及电池均放置在高压绝缘柱上。此外，由于石英真空计耗电小，不一定要交流220V供电，仅需要9V直流电池供电即可，这样它会在航天事业中获得应用。

▲石英真空计放置高压绝缘柱上

石英真空计的下限决定于石英晶振阻抗的漂移，而阻抗的漂移决定于石英晶振的结构及环境温度的变化。选择适当结构的晶振，可以获得较低的下限。石英真空计的优点是传感器体积小，功耗小，精度较高，量程较宽等，因此它将有广泛的应用。

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