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涡轮分子泵的特点很多，但是随着我国机械、、电子、化工等领域的高速发展，涡轮分子泵想要扩大它的市场占有率，其需要克服的难题还有很多。这些不仅仅需要人士的专研，同时也需要各界的共同努力，对涡轮分子泵特点的进一步研究，相信在未来是个值得突破的课题。

典型的涡轮分子泵抽气系统 ，抽气系统设置分开的粗抽管道和前级管道，这种系统和常用的扩散泵抽气系统类似，其粗抽管道和前级管道的基本配置与扩散泵不同。扩散泵的正常运转要求前级泵具有足够大的抽速，以便在很大排气量时前级压力能低于临界前级压力，在涡轮分子泵抽气系统中，要选择具有足够容量的前级泵，使很靠近前级管道的叶片在很大排气量时处于分子流或者正好处于过渡流。

大多数涡轮分子泵的很大稳态进气口压力P1在0.5~1Pa之间，而很大前级压力P2约为30Pa。因为排气量为一常数，即P1S1=P2S2，   （1）式（1）表明，涡轮分子泵抽速和前级泵抽速之S1/S2比应该在30到60的范围内，对于很大的对氢压缩比小于500的泵来说，其级配比应该为20：1。1-涡轮分子泵；2-液氮冷阱；3-放气阀；4-电离规；5-热传导规；6-粗抽阀；7-机械泵；8-前级管路阀；9-高真空阀。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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噪音测试通过在以下12种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试，来验证泵噪音：垂直、水平和翻转位置；高温和低温；全速和低速。在正常运行状态下，168次测量得到的平均噪音为41dB(A)+/-3σ。包装测试通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能，在测试时，使带包装的泵从96厘米/37.8英寸的高度以各种角度跌落18次。确保在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。

无论从科技或是经济发展的角度来看，重要性都是不言而喻的。5G、人工智能、大数据、物联网等新兴技术的发展源源不断地给半导体行业注入崭新活力。真空技术作为一门与应用科学紧密结合的现代基础科学，在半导体行业有着广泛的应用。其中，分子泵作为很多半导体制造设备的零部件之一，广泛应用于IC生产制造的各个工艺。

下面小编就带您走进半导体产业链，并一起探索分子泵在半导体行业的应用。半导体产业链包括上游的半导体支撑产业，中游的半导体制造产业以及下游的半导体应用产业。半导体支撑产业包括半导体材料及设备，其中真空产品主要在半导体设备领域应用；中游半导体制造的是集成电路制造，包括IC设计、IC制造以及IC封测；下游的半导体应用领域众多，半导体应用领域的行业是通信及智能手机、PC/平板、工业/。

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涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快,有机蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统,即使检漏仪不用液氮冷阱,质谱室也不致严重沾污,并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高,并且延长离子源的使用寿命.

氦质谱检漏仪质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。氦质谱检漏仪中没有手动阀，现已采用自控阀自动调节运转时的误差。同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵，以消除可能造成的油返流。计算机技术也在检漏仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。

我们都知道，旋转机械的不平衡是引起振动的常见原因之一，由此产生的振动力取决于旋转速度以及不平衡的程度。而在高速旋转的机械中，不平衡则是非常严重的问题。尤其对转子速度高达90000rpm（1500rpm/sec）的涡轮分子泵而言，对于动平衡品质的要求极高，哪怕是几毫克范围内轻微的不平衡，都会对泵的运行产生重大影响。因此，涡轮分子泵的转子需要做精密的动平衡，品质好的动平衡既关系到转子的平稳运行，也关系到涡轮分子泵的磨损，还可确保将传递到真空腔室和用户应用系统上的振动降至很低。

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