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给出不单独设置粗抽管道、不设置高真空阀门的涡轮分子泵抽气系统，这个系统的真空室是直接通过涡轮分子泵进行粗抽的。因为系统上没有粗抽管道，所以就不存在因粗抽管道而带来的污染和切换区域不适当等问题。从结构上看，系统也变得更简单了。它没有粗抽阀、管道和冷阱，也不需要高真空阀，只需要一个电离规和一个热传导规。

每当打开真空室暴露大气时，就必须把整个系统停机，而后再重新启动。这就使得液氮冷却表面使用起来不方便，因为每当系统停机时，必须将冷却表面升温。1-检漏接口阀；2-涡轮分子泵；3-放气阀；4-电离规；5-热传导规；6-真空管路阀；7-电磁放气阀；8-机械泵。图2  不用阀门的涡轮分子泵抽气系统同时，启动涡轮分子泵和机械泵，通过涡轮分子泵进行粗抽，必须正确选配前级机械泵。

如果机械泵的抽速小，它是不能在涡轮分子泵达到很大转速以前把真空室抽到过渡区的。当出现这种情况时，电动机的过流保护电路就会把涡轮分子泵关掉。抽速大小合适、运转适当的机械真空泵应该是在涡轮分子泵达到其额定转速的75%左右时就能把真空室抽到20~200Pa，这样也可防止机械泵油的返流。大多数涡轮分子泵所设计的启动加速时间为5~10min。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵使用中有哪些注意事项？2.一文了解分子泵在半导体行业的应用3.如何科学地获得超高真空？4.国际热核聚变试验堆（ITER）的真空结构5.一千多台样泵用于各项测试，仅选很优方案，揭秘新型分子泵测试方法；真空聚焦真空行业新媒体平台：涡轮分子泵应用于质谱系统分子泵应用于紧凑型质谱系统。

质谱分析是指与质谱分析相结合的一种核分析技术,用于实现同位素比值的测定.需要清洁无油的高真空环境,一般采用干泵配备涡轮分子泵实现高真空环境.质谱系统需要分子泵抽真空原因:1.电子加速运动的需要;2.电子正常工作的需要;3.加速管微波电场的需要(避免加速管中出现微波打火,必须抽到高真空). 中科院某大型科技工程项目,工程的主体建筑是三大:一台150MeV（1.5亿电子伏特）的电子直线、一台能在0.5秒内把电子束能量从150MeV提升到3.5GeV（35亿电子伏特）的量增强器，以及一台周长432米的3.5GeV电子储存环，

经过技术推荐，成功采购爱发科涡轮分子泵和干泵，涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.

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ARPES光束线客户案例:某光源ARPES光束线真空系统,真空系统是同步辐射光束线的重要组成部分,只有在真空环境中运行,光学元件才能够将同步辐射光传输到试验站,真空系统的作用就是获得并维持合理的真空度,保证光束线的稳定运行.此系统搭配爱发科分子泵80,及配套真空规.

真空系统要求(分子泵):

1.静态真空(无束流):5x10-8Pa,动态真空(有束流):

2.真空系统基本配置:离子泵+无油分子泵+冷阴极真空规管+气体分析仪超高真空系统配置:

涡轮分子泵

接口:DN100CF-F

极限真空:氮气压缩比:>1X1011涡轮分子泵80

接口:DN63CF-F

极限真空:氮气压缩比:>1X1011残余气体分析仪PrismaPro

质量数:1-300amu

四极杆直径／长度:6/125mm

很大工作压力FhPa:5X10-4

涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>>

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