广州潽拓光电科技有限公司——广州adixen分子泵

涡轮分子泵维修，复合分子泵维修，磁悬浮分子泵维修是项非常细致的工作，同时必须借助专门的分子泵维修和

检测设备。氦质谱检漏仪就是分子泵维修检测必须的设备之一。

    任何封闭的物体都会存在渗漏，分子泵是用来产生高真空的设备，其微小的渗漏不容易被察觉，渗漏的部位可能

发生在的密封圈安装处，接头处，抽气排气口处，甚至连金属外壳都有可能因存在砂眼而发生渗漏。 

   以下图片是广州光电为客户的Alcatel ATH400M涡轮真空泵进行氦质谱检漏仪检漏测试的照片

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的分子泵维修维修公司一定会配备氦质谱检漏仪，相反一些小的厂，连氦质谱检漏仪是什么都未必清楚，

更不能出具渗漏的检测报告。

   潽拓光电真空技术有限公司是从事分子泵维修工作的，拥有分子泵维修检测必须的氦质谱检漏仪两台，

可以协助客户做的分析。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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涡旋干式真空泵的工作原理与结构

　　涡旋干式真空泵的结构简单，零部件少；间隙小、泄漏率小，具有较高的压缩比，在较宽压力范围内有稳定的抽速；由于压缩腔内容积的变化是连续的，因而驱动力矩变化小，功率变化小；振动噪声小，可靠性高。

　　由于涡旋泵的上述优点，涡旋泵在一些发达国家已经逐步代替了油封式机械泵。目前涡旋泵主要应用于分析仪器、半导体芯片生产线、液晶显示器生产线和科研设备上。

　　由于涡旋泵加工制造比较困难，再加上自身型线的特点，涡旋泵的抽速大的也不超过10L·S-1 ，抽速的在1L·S-1左右，抽速大于4L·S-1的涡旋泵全部采用双侧涡旋结构，而抽速小于4L·S-1的泵多采用单侧涡旋结构。在实际应用中用量大的是抽速为8L·S-1涡旋泵。

　　涡旋型线参数相同、相位角差π、基圆中心相距r (r的取值与渐开线节距及壁厚有关)的动涡旋盘与静涡旋盘组装后，可以形成数对封闭的月牙腔。当偏心轴推动动涡旋盘中心(即基圆圆心)绕静涡旋盘中心(即基圆圆心)做半径为r的圆周轨道运动时，这些封闭月牙腔容积相应地扩大或缩小，由此实现气体的吸人、压缩和排气的目的。低压气体从静涡旋盘上开设的吸气口进入吸气腔，经压缩后由静涡旋盘中心处的排气口排出。

　　涡旋泵的气体在由涡旋转子和涡旋定子组成的月牙腔内压缩，涡旋定子固定在机架的周边上，在涡旋定子的周边上开设有吸气口，在转子和定子涡旋体中心部位开设有排气口。涡旋转子随着曲轴的回转以偏心量r为半径绕定子中心做公转运动。涡旋转子还受防自转机构的约束，不能自转，始终保持着一种固定的姿态，其中心绕涡旋定子中心作半径为r的圆周运动。

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涡轮分子泵是一种真空泵它主要是通过高数旋转带动叶轮之后把动量传给气体而后排出气体实现真空作业的一个过程，那么涡轮分子泵都有哪些常见的故障呢?

　涡轮分子泵常见故障：

　　1.分子泵的真空度正常，可以达到全速，但是噪音很大

　　分子泵已经运行了3年多，内部陶瓷球轴承可能已磨损。建议将其发送到广州潽拓光电多进行清除和测试;如果单独使用，转子将在以后磨损，从而对泵体内部造成更严重的损坏。

　　2.油毡污染

　　建议在2-3年内更换分子泵油棉。普发复合轴承分子泵的内部陶瓷轴承采用油润滑，可以冷却轴承，减少轴承球的磨损和清洁分子泵轴承。有效地延长了分子泵的预定。

　　3.分子泵无法启动

　　需要摇动叶片，叶片无法旋转，转子完全卡住。它需要由我公司进行修理刹车立即检查。

　　4.异物进入分子泵

　　当工艺环境中有大量灰尘或异物进入分子泵时，加速旋转的叶片和转子产生极大的损害。建议关闭并立即将其送修。

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