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涡轮分子泵的工作原理，结构型式及其优缺点。

为了利用涡轮分子泵，获得清洁真空，国外多利用干式机械泵作其前级泵，构成无油的真空系统。然而，目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵，构成了有油真空系统，如果操作不当，很难避免油蒸汽返流，对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空，国内外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。

应用：当今，现代化的半导体行业中，越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜，表面分析仪器，残余气体分析仪及氦质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外，在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。

因此，很近十几年来，涡轮分子泵，在国内、外都得到了显著的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下，有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此，针对这种现状，对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵机组耗电：

2.38kW×6720h=年耗电15993.60度×1元/度

=15993.60元原来的耗电：

8.8kW×6720h=年耗电59136度×1元/度

=59136元通过上述计算，几乎当年就能从电费一项收回投资费用：

59136-15993.60=43142.40元

第二年使用分子泵机组电费节约赢利43142.40元。

该分子泵近乎免维护，所以如果考虑维护费用，经济效益更可观。该分子泵替换运用的成功，为节能减排贡献巨大力量，做到了制造应用与双赢，并且拓展了分子泵的应用领域。其他好处除了节省成本以外，通过对分子泵替换的圆排车所制造的节能灯进行测试，灯具在产品寿命和质量上也得到明显提高，通过质谱分析，系统的油污染得到降低，光谱等分析都显示，应用分子泵排气制造的灯具性能有很大的改善。

与此同时，根据在其他多家特种灯（金卤灯、航标灯等）、车灯、半导体照明灯客户的实际应用反馈，分子泵对降低生产能耗、提高产品性能和使用寿命等方面都起到明显的促进作用。在部分国内外爱发科的照明生产企业中的应用，分子泵都得到好评和大量替换配套。结  语通过这个案例可以看出，将高压强分子泵机组直接用到圆排机上，实现了降耗节能、保证质量的目标，完全可以替代。

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传统的动平衡技术通过增加额外的质量，例如动平衡配重块，来减少质量分布的不均匀。质量动平衡借助机械加工流程而得到广泛使用，其中包括诸如磨削以及通过钻孔去除材料等工艺。在传统的动平衡过程中，转子的径向偏移是在轴承附近的两个测量层测量的。转子的不平衡度利用一种特殊的算法来确定。为了降低总不平衡程度，转子沿旋转轴分成多个平衡等级，每个等级都有相应的孔。

动平衡配重块沿着各平衡等级的圆周手动拧入。这样就降低了质量分布的不均匀，转子的剩余不平衡度被减少到所需的极限值以下。这里的不平衡度将在多种速度下确定，并逐步完成补偿，从而降低转子的振动并达到额定速度。

近些年来，涡轮分子泵的应用场景越来越多，许多制造领域以前常用低温泵和扩散泵来作为超高真空泵，目前已多被涡轮分子泵所取代。此外，随着相关应用领域对工作环境的要求越发严苛，对涡轮分子泵也提出了更高要求，特别是在次级特性方面。因此，高速转子一直需要进一步开发，包括转子的使用寿命、振动水平（即泵壳上发出的声响和振动），以及基于部件表面脱气性能方面的洁净度指标。

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