广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修

Agilent分子泵维修分子泵特性可对轻质气体实现高压缩比，保证出色的极限压力无烃运行，可确保真空系统洁净远程控制器可在距离 100 m 处进行操作低振动和低噪音 (41 dB(A))，打造舒适的工作环境并且可以在敏感的实验环境下运行体积小巧，可安装在任何位置，有利于轻松集成免维护轴承，零运行成本真空计读数功能，用于监测系统压力通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制，以便随时随地进行泵的操作防辐射和防磁场设计，无嵌入式电子设备，可在强磁场和辐射环境下运行低电磁辐射，确保不会干扰工艺过程

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修

磁场对涡轮分子泵的可能影响

当涡轮分子泵的转子在磁场中旋转时，会产生涡流。这些电流倾向于阻碍转子的旋转，并导致电机的功率增大。由于泵转子不与定子接触，涡生的热量和额外的功率主要通过辐射消散。因此，转子可能会过热，即使泵体及其它静止的部件仍然是冷的。

企业视频展播，请点击播放

视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修

测试过程

试验期间，涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为 1mT ，泵在该磁场下运行 12 个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行 12 个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为 2mT，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到 7mT 。

测试结果

当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为 7mT 时，平衡温度上升到 100 摄氏度左右（安捷伦分子泵的允许温度为 120 度）。

另外，KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（ 5mT 时，低大约40度）。

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修

TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵TwisTorr 404 FS 配备 DN100 法兰，可提供 400 L/s 的抽速，对轻质气体可实现高压缩比，还配备已注册商标的安捷伦悬浮轴承技术 (AFS)，确保低振动和低噪音，适用于各种敏感环境。TwisTorr 404 FS 的高压缩比、高前级耐压能力和免维护运行使其成为一种可靠、、低成本的分子泵。

404 FS 是 UHV 系统、核研究、离子注入器、表面分析、电子显微镜和低温应用的选择。该泵的智能控制器可根据系统需要自动优化泵的性能。

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修

TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵特性可对轻质气体实现高压缩比，同时支持高气体流速，从而能够通过 DN100 法兰以 400 L/s 的抽速在极低的极限压力下运行，同时可用于高通量应用无烃运行，可确保真空系统洁净远程控制器可在距离 100 m 处进行操作。低振动和低噪音 (43 dB(A))，打造舒适的工作环境并且可以在敏感的实验环境下运行体积小巧，可安装在任何位置，有利于轻松集成免维护轴承，零运行成本通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制，以便随时随地进行泵的操作防辐射和防磁场设计，无嵌入式电子设备，可在强磁场和辐射环境下运行低电磁辐射，确保不会干扰工艺过程泵控制软件使灵活性、速度和简便性达到化，可在泵的操作条件下始终保持气体流量和压缩比

广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修

性能指标H2 压缩比3 x 106冷却方法Air coolingWater cooling前级管道法兰尺寸KF 25 NW前级耐压 — N210 mbar启动时间< 5 min噪音水平43 dB(A)工作位置Any建议采用的前级泵容量10 m³/h抽速 — Ar340 L/s抽速 — H2415 L/s抽速 — He505 L/s抽速 — N2380 L/s气体通量 — Ar、水冷3.3 mbar L/s；195 sccm气体通量 — N2、水冷6.2 mbar L/s；367 sccm极限真空<1 x 10–10 mbar标准和认证61326-1

61010-1

DIR 2006/42/CE

DIR 2014/35/EU

DIR 2014/30/EU

DIR 2011/65/EU法兰类型DN 100贮存环境温度-40 至 +70 °C运行环境温度+5 to +35 °C重量22.6 kg额定转速从 40.8 至 49.5 KRPM