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EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修
爱德华EPX 180真空干泵
Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。
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BOC Edwards 爱德华分子泵 G2589-80062 AGILENT
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爱德华 BOC Edwards ext70/70/200 24V
Boc Edwards是英国真空设备供应商，Edwards 是全球zuida的真空设备供应商， 在工业、制药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业以及广泛的研发应用。
日本磁悬浮分子泵1983年在全世界范围内开始广泛销售，其磁悬浮分子泵在世界上处于领导的地位。Edwards收购了日本精工，进一步确定了自己在IC Fab，TFT,OLED及Harddisk等生产领域的地位等分子泵。
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