潽拓——Edwards真空分子泵，分子泵

        广州潽拓专业维修分子泵，Edwards EPX TWIN 180L爱德华半导体真空干泵维修

技术参数：

品牌：Edwards                                                        型号：EPX TWIN 180L

入口法兰：ISO63                                                     出口法兰：NW25

水接头：3/8 in快速                                                  电源供给：200/208V,50/60Hz 三相

电机额度功率:3.0kw                                                  重量：55kg

应用：

EPX系列涵盖广泛的应用，从水处理到中度工作负载的制程。

EPX'L'系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台借口提供控制的清洁工作应用

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

潽拓——{精}{精}，分子泵

爱德华BOC Edwards epx180LE干式真空泵维修

进气法兰ISO63

出口法兰NW25

噪声<59分贝（A）

zui小冷却水流量2升/分钟-1

冷却水温度15-35°C

电力供应200/208 V，50/60 Hz三相

电机额定功率3.0千瓦

重量43.5公斤

EDWARDS EPX爱德华干泵功能和优势：

        可兼容的网络 - EPX 系列配有zui终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。

紧凑的占地面积 – 作为可用的zui小工具上泵之一，EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。

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维修爱德华Edwards nEXT200200D质谱分析设备泵保养

   广州潽拓—Edwards EXT 涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。EXT 使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承，可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作，同时将维护需求降至低。Edwards爱德华nEXT200200D分子泵维修，Edwards nEXT200200D英国爱德华涡轮分子泵进气法兰口LF100/IOS100，出气法兰口KF25，抽速200 L/S，对应的控制器为Edwards EXDC160/Edwards EXDC80。