潽拓——进口莱宝分子泵,分子泵
维修 TURBOVAC450 i/iX 莱宝真空泵半磁浮分子泵TURBOVAC450
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Leybold 莱宝TMP361C涡轮分子泵维修,Leybold TMP361C德国莱宝涡轮分子泵可任意角度安装,Leybold TMP361C德国莱宝分子泵进气法兰口DN160ISO-K/DN160CF,出气法口DN25,抽速可达到400 L/s。广州潽拓光电科技有限公司维修Leybold 莱宝TMP361C涡轮全系列分子泵,可提供24小时快速维修保养技术服务,欢迎咨询联系。
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莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵
TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,涡轮分子泵用于以下应用场合:- 蚀刻;- 溅射;- 离子注入;- CVD;- 光刻。这些应用中,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象, 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比,磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热,能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。