我司从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医liao,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一线品牌分子泵,真空泵,真空计专业维修保养/销售等业务。
广州潽拓光电科技——adixen ATH-M系列磁悬浮涡轮分子泵
应用
-玻璃镀膜
-微处理系统加工
-离子束矫正
-电子显微镜
-空间模拟腔
-半导体工艺
-镀膜与薄镀膜工艺
-许多研发试验
产品特征
-无需保养的磁性轴承
-无油的,干净的真空
-任何方向安装
-可抵抗气体冲击
-较小的体积和重量
-紧凑的1/2 Rock控制器
-一体化控制器
潽拓——varian真空分子泵,分子泵
广州潽拓——Agilent Torr-304FS安捷伦涡轮分子泵维修销售
广州潽拓光电——
Agilent TURBO Pump Controllers 美国安捷伦分子泵电源/分子泵控制器/分子泵驱动器:
Agilent Turbo-V6000 TURBO Pump Controllers
Agilent Turbo-V550 TURBO Pump Controllers
Agilent Turbo-V81-AG TURBO Pump Controllers
Agilent Turbo-V700HT TURBO Pump Controllers
Agilent Turbo-V304FS TURBO Pump Controllers
Agilent Turbo-V304FS-AG TURBO Pump Controllers
Agilent Turbo-V301-AG TURBO Pump Controllers
潽拓——varian真空分子泵,分子泵
发展真空技术,助力半导体行业我国是世界大的半导体消费市场,但产业链整体价值水平较低,尤其是关键材料与核心设备和零部件方面,存在较大国外品牌依赖。例如,薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程核心部件——磁悬浮分子泵,长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题,中科科仪积极响应国家需求,承担科技部《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目,攻克多项关键技术,于2011年成功研制国内第i一台磁悬浮分子泵,打破国外产品垄断。varian真空分子泵