潽拓——{精}，分子泵
广州潽拓，EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。
潽拓——爱德华分子泵，分子泵
Edwards Diffstak 160/700P 小型油蒸汽扩散泵 Diffstak 160/700P
概述：
紧凑型水冷却Diffstak泵配有集成的冷却挡板，回流超低，漏气更少，并且安装所需的橡胶密封件也大大减少，同时还能提供**清洁的泵送系统。
多年依赖，通过数千个泵的安装，Edwards Diffstak 160(ISO 160进气口）设计已得到认可。
这种泵是无阀泵，具有铜制压缩垫片法兰。
潽拓——爱德华分子泵，分子泵
Edwards爱德华 STP h200c设备泵维修保养
Edwards爱德华STP-H200C分子泵维修Seiko Seiki STP-200/STP-H200C/STP-H200C1日本精工精机分子泵进气法兰口VG100/ISO100/ICF152，出气法兰口KF25，抽速可达到270L/s，转速为48000rpm，VG/ISO法兰口极限压力10-7Pa(10-9Torr)，ICF法兰口极限压力10-8Pa(10-10Torr)。
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