广州潽拓光电科技有限公司

潽拓光电-二手Edwards 分子泵供应

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  • 主营产品:分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
  • 公司地址:广州市番禺区化龙镇潭山环村公路1-1号
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潽拓——{精},分子泵

广州潽拓,EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养





主要特性和优势

       占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。

       受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

          超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,zui大程度地延长了泵的 使用寿命。

        运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。


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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司






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广州潽拓专业维修分子泵,爱德华Edwards Ext 75dx iso100复合泵维修保养



性能特点

兼容TIC涡轮仪表控制器。

多种通讯模式。

并口,用于传统控制信号接口。

串口,用于RS-232接口。

通过RS-232接口,用户可以设置各种参数RS-232。

正常泵速显示。

准备转速显示。

泵温。

增强型泵速、功耗、温度监测。












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维修爱德华Edwards nEXT200200D质谱分析设备泵保养



   广州潽拓—Edwards EXT 涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。EXT 使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承,可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作,同时将维护需求降至低。Edwards爱德华nEXT200200D分子泵维修,Edwards nEXT200200D英国爱德华涡轮分子泵进气法兰口LF100/IOS100,出气法兰口KF25,抽速200 L/S,对应的控制器为Edwards EXDC160/Edwards EXDC80。