潽拓——英国爱德华分子泵，分子泵

Edwards爱德华STP-iXA3306C磁悬浮分子泵保养

        Edwards 英国爱德华分子泵是目前*大的真空设备供应商，在工业、制药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业以及广泛的研发应用的真空技术占有地位。高真空分子泵维修，涡轮分子泵维修 进口涡轮分子泵维修，精修高真空分子泵， Varian 全系列分子泵维修，爱德华分子泵维修。

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         Edwards EXT 涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。EXT 使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承，可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作，同时将维护需求降至。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

潽拓——{精}，分子泵

广州潽拓，EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养

主要特性和优势

       占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。

       受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

          超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的 使用寿命。

        运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。

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爱德华BOC Edwards epx180LE干式真空泵维修

进气法兰ISO63

出口法兰NW25

噪声<59分贝（A）

zui小冷却水流量2升/分钟-1

冷却水温度15-35°C

电力供应200/208 V，50/60 Hz三相

电机额定功率3.0千瓦

重量43.5公斤

EDWARDS EPX爱德华干泵功能和优势：

        可兼容的网络 - EPX 系列配有zui终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。

紧凑的占地面积 – 作为可用的zui小工具上泵之一，EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。