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EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修
爱德华EPX 180真空干泵
Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。
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现货出售爱德华 Edwards nEXT 240分子泵及提供维修保养服务，欢迎来电咨询
概述—— nEXT240D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵，有ISO100和CF100两种入口法兰接口，对N2的抽速为240l/s。
基本的分子泵系统通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。
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供应二手爱德华Edwards STP-iXR2206磁悬浮分子泵及维修
广州潽拓光电主要提供Pfeiffer(普发)， Leybold(莱宝)，Alcatel（阿尔卡特） ，Edwards（爱德华），Varia（瓦里安），Seiko Seik（精工），Shimadzu（岛津），Agilen（安捷伦），Osak（大阪），，ULVAC（爱发科）等的真空涡轮分子泵,复合分子泵,磁悬浮分子泵，分子泵机组，分子泵电源。
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