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     EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修

爱德华EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

潽拓——{精}{精}，分子泵

爱德华BOC Edwards epx180LE干式真空泵维修

进气法兰ISO63

出口法兰NW25

噪声<59分贝（A）

zui小冷却水流量2升/分钟-1

冷却水温度15-35°C

电力供应200/208 V，50/60 Hz三相

电机额定功率3.0千瓦

重量43.5公斤

EDWARDS EPX爱德华干泵功能和优势：

        可兼容的网络 - EPX 系列配有zui终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。

紧凑的占地面积 – 作为可用的zui小工具上泵之一，EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。

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  爱德华IPX100真空泵维修 BOC EDWARDS IPX100


      分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

这种泵具体可分为：

1)牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。

2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。

3)复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

STP-iXR系列STP-iXR1606、STP-iXR1606C、STP-iXR2206、STP-iXR3006、STP-iXA3305C、STP-iXA3305CP、STP-iXA3305CV、STP-iXA3306C、STP-iXR3306