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氦质谱检漏方法 ( 以下简称氦检)以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种，由于后者需将 设备完全抽成真空状态， 往往会增加测试用设备( 如高、低压真空泵、真空阀等)和设备工装 ( 如 外压加强圈)而使造价提高，所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备;对于大多数压力容器而言，通常优先选用前一种方法。氦质谱检漏仪维修

*星的整体泄漏检测就是使用的充氦法，wei星以这种方式放置在大型环形模具室中，并且使用环形模具设备的真空系统将环形模具抽真空。首先，用辅助泵对环形模具进行粗加工和预抽，在检漏中，首先用机械泵将*星和充气管抽入真空，然后将氦气充入*星，根据*星工作的压力保持压力，*后打开氦质谱检漏仪的标准检漏校准仪，可以直接测量*星的泄漏率。氦质谱检漏仪维修

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定电流式灯丝的温度会随着真空压力的变化而变化，由于灯丝为高电阻温度系数材料，灯丝的温度的改变会导致灯丝电阻值发生变化，以电阻电桥的感测方式来测定电阻的改变就可以证明出真空压力的变化。

 参考感测头有着与感测头极为相似的构造，但其内部已抽至相当高的真空状态并加以密封，并尽可能接近于感测头感测压力的位置，有着环境温度补偿的作用。电桥的另一边按顺序有着一可变电阻R1和固定电阻R2。该电桥并联与一电源上，并在两个感应头间和两个电阻间接驳一个平衡电流表G。

真空计一般分为两部分:

感应头:多为金属或者玻璃外壳，内有感测真空压力的灯丝或者其他感温元件。

控制头:为感应头提供必须的电路和做信号放大和信号数字化的工作。

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 定电压式当感应头里的灯丝上维持一定的电压时，灯丝的温度会随真空压力而发生变化。以真空压力变高时为例，此时热传导带走的热能增加，灯丝的温度会下降，由于灯丝为高电阻温度系数材料，INFICON NT12F维修厂家，灯丝的温度变低会导致灯丝的电阻值上升，当灯丝两段的电压不发生变化的时候，会使通过灯丝的电流降低，因此电流的减少也就证明出真空压力增gao。反之，当真空压力变低时，由电流的增加可以证明出真空压力变低。INFICON NT12F维修

皮拉尼型真空计利用惠斯通电桥 Wheatstone bridge 的补偿原理，其中的一灯丝作为该电路的其中一个电阻。当灯丝所在的气体分子密度改变时，其热导率会有所不同，因此灯丝所表现的温度也会不同，间接影响电阻值的大小。固定电压，固定电流以及固定温度中以zui后一种方法做敏感。值得注意的是，不同气体的热导率不同，因此在测量的时候要刻度上需要校对。INFICON NT12F维修

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