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氦质谱检漏仪是以氦气作为示漏气体，对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器。

为了正确使用氦气检漏设备，在充入检漏气体前有必要对抽空样品进行预抽空。如果在填充前没有排空，试件中的空气将被挤压到几何空间的末端，氦气检漏设备中的气体不能进入该部分，因此潜在的检漏孔将仅释放空气，检漏设备不能检测到这些检漏孔。

氦气检漏设备的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在检漏气体试验前放在水箱中，这些泄漏孔或毛细管会被水堵塞或充满，从而大大影响检漏结果

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在真空表中受大气作用力引起应变元件的是弹性金属管，在膜盒真空计中是弹性薄膜。膜盒真空计的结构原理如图 4-2 所示。膜盒真空计中，有一个由应变膜和玻璃外壳构成的一个密封盒，盒内的气体压力已预先抽至0.1Pa 以下，作为参考压力，指针与联动机构安放在玻壳内。当待测压力变化时，应变膜上感受到不同的力，这样就能读出不同的读数。

INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑的装置中，测量范围从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）

由于这种真空计的参考压力是0.1Pa，这就为测量较低的压力提供了可能。其测量范围为0~10Pa。根据其不同的型号，可细分为0~2500Pa0~2.5X10'Pa和0~105Pa。这种真空计不受大气压值的影响，一般精度为满刻度值的士1%，可广泛地用于激光器件的研制和生产单位。

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　冷阴极电离真空计与热阴极电离真空计一样，是利用低压力下气体分子的电离电流与压力有关的特性，用放电电流做为真空度的测量，由电流表CB(做为真空度指示仪表，一般用量程为o～100μA)指示出来。所不同的在于电离源。卤素检漏仪维修

卤素检漏仪是因为化学元素周期表里面有卤族元素周期系ⅦA族元素。包括氟（F）、氯（Cl）、*（Br）、碘（I）、砹（At），简称卤素，通常所说的氟利昂含氟，检漏仪又对氟起反应，所以叫卤素检漏仪，精度*好应该到5×10-7~08Pa·m3/s吧。有手持式和台式的。卤素检漏仪维修

氦质谱检漏仪是由离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计、还有分子泵等组成，氦气分子小，还比较活跃，属于惰性气体，不腐蚀设备，检漏*率高，氦气质谱检漏仪反应灵敏，精度高，可检测到5×10-12Pa·m3/s。一般为台式。卤素检漏仪维修

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