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结果表明，随着螺旋升角和牵引槽深度增大，氦质谱检漏仪的灵敏度均先提高后下降;增大转子与定子间隙，不利于氦质谱检漏仪灵敏度的提高;选取螺旋升角为22°、牵引槽深为 2.5 mm、转子与定子间隙为 0.3 mm时，氦质谱检漏仪具有较高的灵敏度，同时复合分子泵牵引级性能*靠且结构安全。

除此之外，HLD 6000新型冷媒检漏仪还具有轻松融入本地网络及低维护成本的优势。该产品设有用于测量数据跟踪、存储设置和快速软件更新的USB端口，使用者可以随时进行收集、存储和更新数据等功能。通过选件I/O模块或现场总线模块，可方便的接入本地网络，轻松集成到泄漏检测系统中。在开发HLD 6000时，低维护成本就是考虑的重点，在主装置底部配备参考漏孔“修理厂”，即新设计的COOL-Check托架让快速更换参考漏孔成为可能，而采用无磨损的传感器则*大化保障用户的正常运行时间。冷媒检漏仪维修

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——英福康分子泵维修 氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中*常用的两种方法。氦质谱检漏仪维修中心

氦质谱检漏仪使用的方法取决于检验件的结构、检漏的经济效益和检漏系统的性质。对于不同的目的，可以选择不同的氦质谱检漏仪来完成漏检任务。

便携式氦质谱检漏仪可以快速找到泄漏点，成本高，适合批量操作；建议使用精度不低于1PPM和20PPM作为泄漏点。请注意，氦质谱检漏仪应在无风条件下使用。

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广州潽拓光电科技有限公司——英福康分子泵维修卤素检漏仪维修

　冷阴极电离真空计与热阴极电离真空计一样，是利用低压力下气体分子的电离电流与压力有关的特性，用放电电流做为真空度的测量，由电流表CB(做为真空度指示仪表，一般用量程为o～100μA)指示出来。所不同的在于电离源。卤素检漏仪维修

卤素检漏仪是因为化学元素周期表里面有卤族元素周期系ⅦA族元素。包括氟（F）、氯（Cl）、*（Br）、碘（I）、砹（At），简称卤素，通常所说的氟利昂含氟，检漏仪又对氟起反应，所以叫卤素检漏仪，精度*好应该到5×10-7~08Pa·m3/s吧。有手持式和台式的。卤素检漏仪维修

氦质谱检漏仪是由离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计、还有分子泵等组成，氦气分子小，还比较活跃，属于惰性气体，不腐蚀设备，检漏*率高，氦气质谱检漏仪反应灵敏，精度高，可检测到5×10-12Pa·m3/s。一般为台式。卤素检漏仪维修

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