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氦质谱检漏仪分子泵故障及处理

1、仪器界面上TMP显示“0”即分子泵没有工作

有可能是前级压力过高(该分子泵的启动压力为200Pa)导致分子泵无法启动。检查导致压力过高的项目有：真空规管是否有问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏或机械泵是否转动，系统是否有泄漏。也有可能是分子泵的叶片或转子被损害，可自行用工具拨动叶片，判断其能否转动。

分子泵加速指示灯不亮

电路板上的保险丝烧断，更换保险丝或检查是否有短路现象。

分子泵故障灯亮

检查电路板设置开关是否处于R位置，此时应该在N位置。检查风扇是否停止，如风扇正常，则可能为氦质谱检漏仪分子泵电源故障。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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因此为保证罗茨真空泵能达到较高真空度，需保证罗茨真空泵转子及与泵腔之间的间隙。所以大部分中高真空罗茨真空泵使用时必须配备前级泵，利用前级泵将系统内压力抽至一定范围，再启动罗茨真空泵，保证合理范围内的出入口压差，这样就可以避免罗茨真空泵因高压差而导致过载。varian TV401 301分子泵维修

排气口冒烟一定是排气过滤器堵塞。真空泵排气过滤器是用来分离气体和油的，我们称为油雾。正常情况下，油雾经排气过滤器后，气体排出，油被过滤下来重新使用。如果排气过滤器堵塞，气体排不出，就会将密封处顶开，油不经排气过滤器过滤，直接排出到大气。varian TV401 301分子泵维修

1、低噪音罗茨真空泵不够

　　原因：电机电源不足导致转速不足；供水不足；叶轮与分配板间隙过大；机械密封损坏导致的水和空气泄漏；叶轮过度磨损；循环水无法排放。varian TV401 301分子泵维修

　　故障排除：检查电源电压是否在电机额定电压范围内；增加供水；调整叶轮与分配板之间的间隙；更换机械密封；更换叶轮；检查出水口的管道。

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因此为保证罗茨真空泵能达到较高真空度，需保证罗茨真空泵转子及与泵腔之间的间隙。所以大部分中高真空罗茨真空泵使用时必须配备前级泵，利用前级泵将系统内压力抽至一瓦里安分子泵维修电话，定范围，再启动罗茨真空泵，保证合理范围内的出入口压差，这样就可以避免罗茨真空泵因高压差而导致过载。

停止或启动时发出巨大噪音

　　原因：电机供电电压不足；电机缺相运行；泵长期未使用，造成腐蚀；泵吸收杂质；叶轮拉动分配板。

　　故障排除：检查电源电压是否过低；检查电机接线是否牢固；如果泵长时间不使用，可以添加除锈剂或打开泵盖进行除锈；打开泵盖清除杂质；调整叶轮和分配板之间的距离。瓦里安分子泵维修电话

瓦里安分子泵几乎涵盖了所有可能的应用领域，特有的机电一体化的设计，具有前级耐压高的特性，适用于10－10-10毫巴的真空环境。主要具有以下显著优点：

应用范围广

macrotorr技术

整体加工的转子

高可靠性，免维护的陶瓷轴承

内置控制器可用采用导航控制

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