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Inficon PGD400 配合Inficon PSG500一起，可提供*具经济效益的压强检测方案，我们可以选择测量单位为：Pa, mbar及 Torr, 其中：1Pa=1.0*10-2mbar=7.5*10-3Torr

任何具体物理现象与压力的关系，都是在某一压力范围内才*显著，超出这个范围，关系变得弱了。因此，任何方法都有其一定的测量范围，这个范围就是真空计的“量程”。尽可能扩展每一种方法的量程，是真空科学研究的重要内容之一。英福康真空计维修

在较高压力时(105～1Pa)利用压力差U型管压力计，麦克劳真空计，薄膜计，弹簧管压力计等。 在103～10-2 Pa的中间压力范围，利用气体性质(热传导，粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。在低压力时，使用将气体分子电离而测量的电离真空计

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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近代真空技术所涉及到的压力范围宽达19个数级(105～10-14 Pa)，没有任何一种真空计能测量如此宽的压力范围，因此总是用几种真空计分别管辖一定的区域。但由于各种真空计在原理上的差异.在相互衔接的区域，往往要造成较大的误差。由上观之，为改善真空计性能及提高真空测量准确度，必须突出主要现象，抑制寄生现象。表1给出一些真空计的压力测量范围。

INFICON（Instruments For Intelligent Control），中译英福康，是总部位于瑞士巴德拉加兹的一家专门研发、制造及供应半导体和真空镀膜产业的仪器、侦测器与控制软件公司。在制冷、空调、汽车产业也提供zhuan业的气体泄漏鉴测仪器，用于鉴定及分析有毒化学物品。

 Inficon 皮拉尼真空计,对应测量范围 1000mbar---5.0*10-4mbar :

          Inficon PSG500   +  Inficon PGD400

          Inficon PSG500-s  +  Inficon PGD400

          Inficon PSG502-s  +  Inficon PGD400

          Inficon PSG510-s  +  Inficon PGD400

           Inficon PSG512-s  +  Inficon PGD400

           Inficon PSG550  +  Inficon PGD400

           Inficon PSG552  +  Inficon PGD400

           Inficon PSG554  +  Inficon PGD400

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导热真空计为何易衰老？答：因热丝长期性运行在持续高温下，受汽体功效易空气氧化变窄，或造成热丝自身结晶体结构转变，因而会更改热丝的电阻器，导致零点的飘移，这也是归属于热丝本身的。热丝表层因会吸咐汽体而更改了表层的融入指数，即热交换器的体制，导致敏感度的转变。以上均归属于衰老状况。

Inficon UL200氦质谱检漏仪采用Leybold 35LS分子泵，Inficon UL200氦质谱检漏仪*高检测到up to 5 x 10-10 mbar l s-1.

真空检漏可分成哪两类？答：可以分成：1）工作压力检漏法，包含①打气检漏法，②卤素灯泡检漏法，③氨检漏法。2）真空检漏法，包含①高频率火苗检漏法，②真空计检漏法，③质谱仪检漏法。

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