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在某些中真空应用中，需要进入10-1Pa范围，这对罗茨泵的二级机组往往难于实现，而使用二级罗茨泵串接的三级机组可使真空度提高一个数量级而进入10-1Pa，所以中真空应用也常用三级机组。由于分子增压泵在10-1Pa可以满抽速，所以亦可以在三级中真空机组中取代两级罗茨泵。一般地讲，长时间工作在中真空的低端压力范围的罗茨泵，分子增压泵可以完全取代。而长时间工作在中真空*端压力范围的罗茨泵相对而言应该较少，因为这一压力范围前级泵往往还具有强劲的抽速。高真空分子泵维修

一、真空泵正常运转使用时，每三天对以下内容进行一次点检：

A、泵油是否在游标范围以内

B、泵油是否有变黄变黑、混浊现象

C、声音是否出现异响

D、真空泵运行时是否出现漏油

当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。高真空分子泵维修

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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滑阀真空泵工作原理:

另一种典形的旋转真空泵为滑阀真空泵，泵壳内装一偏心的转子。转子上有若干槽，槽内有可以滑动的滑片。转子转地槽内的滑片向四周伸出，不与泵壳接触。气体于滑片与泵壳所包围的空间扩大的一侧吸入，于二者所包围的空间缩小的它侧排出。滑片真空泵所产生的低压可达0.06Pa。相比旋片真空泵运行更加稳定，耐用性更强。阿尔卡特进口泵维修

分子筛的吸附特性分子筛对于 H,ONHHSCO等性分子具有很高的亲和力，特别是对于水，即使在低分压力或低浓度、高温等十分苛刻的条件下，仍有很高的吸附容量。另外,与其它吸附剂相比,分子筛还有良好的热稳定性，吸附量饱和后可经加热处理使之恢复吸附能力。阿尔卡特进口泵维修

试验表明,分子筛在10Pa下的空气中,在700C 下加热 6h,其晶体结构可以无变化。但是,在 800C下加热不到 2h,分子筛便重新结晶而形成一种象白硅石般的结构。因此，必须强调指出，在应用分子筛时，其温度不能超过 600C。阿尔卡特进口泵维修

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高真空机组往往需要三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的限制。泵都有起始工作压强，传统的高真空泵都在几Pa的范围。adixen ATH400M分子泵维修，因此前级泵必须预抽到这一压力主泵才能开始工作。但直排大气的前级泵抽至这一压力往往需要较长的时间，因为随着压力降低泵的抽速在减小，特别是对于周期性抽气的真空机组，对达到工作真空度的时间是有要求的，预抽时间越长，进入工作真空度的时间也越长，故增加一台中真空泵与前级低真空泵配合，可在较短的时间达到主泵可以工作的压力，这样可以使系统尽快地进入工作压力，保证了设备的使用效率。adixen ATH400M分子泵维修

由于负荷大，转子和壳体温差不断zeng高，使间隙不断增大，这会使首逆流增大，引起罗茨真空泵抽速下降。为了克服这个缺点，罗茨泵在高负荷下工作时，需要采用有效措施，一般是将罗茨真空泵的外壳和转子同时采用油循环系统进行冷却。adixen ATH400M分子泵维修

随着螺旋升角和牵引槽深度增大，氦质谱检漏仪的灵敏度均先提高后下降;增大转子与定子间隙，不利于氦质谱检漏仪灵敏度的提高;选取螺旋升角为22°、牵引槽深为 2.5 mm、转子与定子间隙为 0.3 mm时，氦质谱检漏仪具有较高的灵敏度，同时复合分子泵牵引级性neng可靠且结构安全。adixen ATH400M分子泵维修

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