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螺杆泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境（如抽除含粉尘气体等）。ulvac真空泵维修

真空常见故障、产生原因

1 .油量不足.油脏或乳化.泵油牌号不符或混油，夏季使用黏度过小的油 .漏气.配合间隙过大( 或有磨损和划痕) .油路不通,泵腔内没有保持适当的油量

2.泵运转中温升太高,使泵油浓度变稀，密封性变差，油蒸气压增大 .泵中隔板压入时过盈量过大,使泵腔鼓起变形，漏气.排气阀片损坏密封不好 .装配不当,端盖板螺钉松紧不一,转子轴心位移 .旋片活动不好 .被抽气体温度过高。ulvac真空泵维修

3 .进气管内的过滤网被堵 .气镇阀垫圈损坏或没拧紧 加油到油标中心换油检查轴封、排气阀、端盖、进气口等部位的密封情况，并修换密封圈检查泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，清除杂物、杂质，按精度要求修磨调节油路的进油量, 清洗时用高压空气吹通油孔,把沉积物清洗干净通冷却水降温, 检查配合间隙按精度要求进行修理修整泵腔或换泵、报废修换阀片重新装配修磨转子和旋片的配合,调换弹簧热气体被抽入泵之前加冷却装置取出进气口过滤网清洗干净烘干后再装好换垫圈,拧紧气镇阀电动机超负荷运转,甚至转不动, 发生“ 卡死”现象 。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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真空泵维修外壳的材质，阻燃值等细节问题都能大致分辨成本的多少，拆开外壳，看里面电路板布局是否合理，打开外壳和电路板步骤是否人性化，有的变频器内部怎么都打不开，也不上螺丝，你让怎么打开维修。电路板做工也能一眼看出，是否是机器贴片，是否有三防漆，电路板几层，是否有虚焊，是否有铜线来回穿插电路板中，这些都能看出一个企业在电路板设计布局的实力。爱发科真空泵维修与保养

不好的布局也会给变频器带来故障隐患，再就是看变频器的模块是否是进口品牌，模块的电流值多大，这些将直接影响变频器使用寿命，还有就是变频器的电容，看容量是否够，看品牌是否是，这些也会影响变频器的性能，后看变频器的风道，风道的设计合理，变频器的散热能力就能够提升很大，反之变频器会容易经常出故障。

如果进行全部的检查之后，［EPROR］LED的灯亮状态仍不能解除，应考虑PLC内部发生了某种故障，请与技术服务商联系。4.输入指示不管输入单元的LED灯亮还是灭，请检查输入信号开关是否确实在ON或OFF状态。

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广州潽拓光电科技有限公司——爱发科进口真空泵爱发科真空泵分子泵

泵效是分子泵的重要基本参数，提高传动比是提升泵效更加马上的方法之一，随着着动平衡设备***性的发展趋向，分子泵发电机转子可顺利地在快速转动下稳定运作。随着着管理学的发展趋向，分子泵发电机转子原料也发生了变化，可用硬铝型材、碳纤维、合金材料等高耐磨原料制成，这使发电机转子的传动比得到进一步提高。

为了减少分子泵整机工作时的振动，在泵的设计制造中应采取以下措施：

　　1、在工艺条件允许的情况下，尽可能提高零部件的加工精度。

　　2、对电动机主轴及涡轮转子等旋转零部件进行严格的动平衡试验。

　　3、为了防止产生共振，确保泵安全运转，泵设计时，应使主轴的工作转速 n 在其各阶临界转速之外。在轴的初步设计时，应对其临界转速进行验算，至少使其与工作转速相差 20 %左右，否则应改变轴的尺寸或刚性来达到上述要求。

　　4、对主轴轴承的外侧设置橡胶减振环。橡胶减振环除了具有减振、隔音效果外，还有利于越过共振区，衰减高频振动和噪音的作用。

　　5、为减少分子泵的振动向外传递以及减少外界振动对分子泵的影响，在分子泵的四个支柱下装有四个橡胶垫以起到隔振作用。

　　装配时泵内一定要保持干燥、清洁。将各机座的油泵放在*下面, 然后依次重叠的直立装配。各机座高真空室的旋片应沿螺旋线顺序相距一齿。预真空室转子的旋片应相距两齿, 两个预真空室的转子端头孔应相对着不要掉头。零部件的互相接触部分应涂以干净的真空泵油以加强润滑。

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