广州潽拓光电科技有限公司——爱德华磁悬浮涡轮泵
Edwards XDS10特点及优势
轴承屏蔽
完全清洁和干燥的真空
真空空间中没有轴承或油脂
无轴封,无轴承清洗
简单的单侧滚轴设计
更换顶封口仅需 20 分钟
无需特殊工具
气囊位置可选
无永*气囊泄漏
水蒸汽处理量大
所有泵产品均经外部机构检验,符合 EN61010、CSA C22.2 1010、UL 61010 标准
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(Boc Edwards)是英国老牌真空设备供应商,是全 qiu zui大的真空设备供应商,用于半导体、平板显示器、LED和太阳能电池制造, 及工业、制药、化工、加工、玻璃镀膜、食品包装等行业。并且收购了日本精工后Edwards更是进一步确定了自己在IC Fab,TFT,OLED及Harddisk等生产领域的地位等分子泵。
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涡轮分子泵的优点是启动快,耐各种射线的照射,耐大气冲击,无储气和解吸作用,无油蒸气污染或污染*少,可获得洁净的超高真空
nEXT300D 是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO100 或 CF100 入口法兰,具备 300ls-1 的 N2 抽速。
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