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不同的真空系统要求的真空度不同。因此往往必须由一套真空机组来完成,即由工作在不同压力范围的真空泵串接起来。高真空一侧的真空泵能达到系统要求的真空度,而低真空一侧的真空泵是直排大气的。显然*简单的真空机组就是一台直排大气的真空泵。但高真空系统一般需要三级机组,中真空一般需要二级机组。高真空分子泵维修厂家
真空是指气体压力小于大气压力的状态。真空度用帕斯卡(Pa)或托(Torr)来表示。在某些应用中,需要制造非常低的真空。例如,在电子学中,需要多个级别的真空来生产半导体器件。真空主要通过真空泵来制造和维持。高真空分子泵维修厂家
一般真空泵设备的操作都比较简单,大多正常生产过程中都不需要过多的人为操作,操作人员如果发现真空泵有异常状况,为防止发生事故,应立即切断电源,及时报修。使用过程中,应避免日光直射,远离热源体。日常工作中应做到每日点检保养设备,保持无灰尘、无杂物,防止杂物进入泵内。高真空分子泵维修厂家
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喷射泵由工作喷嘴和扩压器及混合室相连而组成。工作喷嘴和扩压器这两个部件组成了一条断面变化的特殊气流管道。工作蒸气在高压下以很高的速度从喷嘴喷出,在喷射过程中,气流通过喷嘴可将静压能转变为动能。工作蒸汽压强和泵的出口压强之间的压力差,使工作蒸汽在管道中流动。阿尔卡特涡轮分子泵维修
涡轮分子系内的轴承,是安放在采的低真空部位的,并有密封圈挡住,不至使轴承中的润滑油或脂的蒸气直接进人泵的进气口部分。在泵工作时,由于对油蒸气有极高的压缩比,油蒸气是很难进入高真空区的。但一旦泵停止运转后,若泵内仍保持真空的话,则这些油燕气就容易扩散进入高真空区,油蒸气便沾污了泵的高真空叶轮。阿尔卡特涡轮分子泵维修
为此,在停泵后,必须立即对泵灌以干燥的空气或氮气,限止油蒸气的扩散,涡轮分子泵内各叶轮之间、动轮与泵壁之间的空都只在 1mm 左右,因此工作时应严格防止异物进入泵内。一般允许的杂散磁场约为 0.004~0.011T。阿尔卡特涡轮分子泵维修
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在低温下,轴承润滑剂具有很高的粘度(低润滑作用),可能导致轴承润滑不良和分子泵启动电流过大。即使泵看起来启动正常,也可能会对轴承造成一定的损伤,长期来看,这将影响泵的可靠性。安捷伦分子泵允许的正常工作温度范围是 5-35 摄氏度,在环境温度低于 5 摄氏度时,需要采取一定的加温措施。
避免真空泵温度过高:较为非常容易了解这一点,半导体材料在真空泵的运用中,有害物质比较多,而不论是干试真空泵還是骨架密封机械泵,泵腔内温度过高,高溫下物品及有害气体便会非常容易产生风险。 进口泵维修
应小心防止固体物质(金属碎片、玻璃碎片等)。)不会掉入真空泵并擦伤真空泵的运动部件。当真空泵长时间停机时,应将其存放在干燥清洁的环境中,并堵住吸入口和排出口,以防灰尘落入。
真空泵选型前,先来弄清楚几个基础概念: 真空 现实中是不存在真正的真空的,通常我们把容器内气压低于正常大气压(101325 Pa)的状态都称之为真空状态。进口泵维修
容积式真空泵
容积式真空泵适用于低真空的泵速较慢的场合,主要用来创建中等至低真空环境。容积式真空泵使用气体压缩作为原理,通过泵出气体并将其压缩进入泵房,从而实现真空抽取。
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