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广州市爱德华涡轮分子泵-广州潽拓光电科技

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潽拓——{精},分子泵

广州潽拓光电维修Edwards 爱德华EXT 250真空分子泵



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Edwards产品应用于多个行业,含化学和工艺泵(CDX/CXS/EDP系列)、机械增压泵(EH/HV/pXH/Stokes 6”系列)、油封旋转泵(EM/ES/RV系列等)、扩散泵(蒸汽泵/HT等)、小型干泵(隔膜泵/涡旋泵)、工业干泵(GV/GXS/IDX系列等)、半导体干泵(EPX/GX/iGX/iH/iXH/iXL系列)、分子泵(nEXT/STP/TS85系列等)

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对应的控制器为:Edwards SCU-750

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STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵是为半导体应用而设计的涡轮分子泵STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵它使用的转子,可实现的性能,大的制程灵活性。全新的半机架控制器能够节省更多空间,且采用直流驱动,无需电池即可运行。STPA2203C 已经由半导体和磁介质行业的大型刻蚀、离子注入和沉积设备制造商投入使用,并得到了。

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