广州潽拓光电科技有限公司——普发真空泵旋片真空泵维修

分子泵叶片破碎是什么原因造成的呢?

 错误操作：比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。旋片真空泵维修

油棉污染：油棉变黑，发黄，建议3-4年更换分子泵油棉，Pfeiffer 复合轴承分子泵内部陶瓷轴承采用油润滑方式，可以给轴承降温，减少轴承滚珠磨损并起到清洗分子泵轴承，避免污染物附着在轴承上面，有效延长分子泵的使用寿命。

由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。shou先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。旋片真空泵维修

扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或gong等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：

① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵，旋片真空泵维修

② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

广州潽拓光电科技有限公司——普发真空泵 旋片真空泵维修

企业视频展播，请点击播放

视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——普发真空泵涡旋分子泵

水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。涡旋分子泵

扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或gong等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：

① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵

② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入

低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

干式真空泵常见故障：

液体侵入

灰尘堆积

抽取稀有贵重气体

在极限压力下运行

不当的温度波动

温度控制

*抽空

启动泵

广州潽拓光电科技有限公司——普发真空泵 涡旋分子泵

广州潽拓光电科技有限公司——普发真空泵涡旋分子泵维修保养中心

为了解决粗抽造成的返流问题，主要是在前级管道中避免分子流态的发生，以防油蒸汽返流，当前级管道中达到前级压力时，关闭粗抽阀对粗抽管道内充气（用一个充气阀和一个可控漏孔），然后关闭粗抽泵。因而粗抽管道内就不可能出现分子流态，防止了返流。涡旋分子泵维修保养中心

Pfeiffer HiPace® 1200抽速可达到1,250 L / s N2 小而有力的涡轮分子泵。集成驱动电路，适用于工业环境，通过保护等级IP54。集成分子泵控制器 TC 1200 接口 DN200 ISO-K。小巧灵活，可以安装在任何方向。简单可靠的集成系统。对气体中的灰尘和小颗粒不敏感。

吸咐泵基本原理非常简单，多选用活性碳或是活泼金属来吸咐腔内的气体分子结构。而离子泵则是根据髙压充放电，将气体弱电解质，随后弱电解质的气体会历经静电场、电磁场功效吸咐在由金属钛组成的负极板上。再加上这二者的协助，我们可以做到10-9Pa的真空泵，这早已是一个大气压的一百万亿分之一。这早已做到了极高真空泵的范围，足够考虑大部分科学试验的规定了

广州潽拓光电科技有限公司——普发真空泵 涡旋分子泵维修保养中心