广州潽拓光电科技有限公司——普发分子泵哪里有修真空泵的

单级双吸泵真空泵和普通的水泵作用一样，其特点是把旋转水环当做活塞来改变泵腔的容积，以达到吸气、压缩和排气的目的。它的零部件包括转子叶轮、泵壳、端板、阀片、轴承、进排气口、进口单向阀、轴端密封等。通常情况下，轴端是密封的，是利用带水封环的填料进行密封处理的，其中密封水是通过端板上的孔道导入导水封环位置的。哪里有修真空泵的

PFEIFFER TMH071 P涡轮分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent（VARIAN）、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析设备及氦检仪中分析仪器如氦质谱检漏仪，及小型分子泵组中。德国普发PFEIFFER TMH071 P分子泵进气法兰口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F，出气法兰口DN16ISO-KF，抽速可达到60L/s, 转速为90000rpm,极限真空＜1*10E8mBAR; 对应的控制器为PFEIFFER TC600.

当今，现代化的半导体行业中，越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜，表面分析仪器，残余气体分析仪及氦质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外，在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。因此，z近十几年来，涡轮分子泵，在国内、外都得到了显着的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下，有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此，针对这种现状，对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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Pfeifer Duoline旋片泵盖了中低真空范围(zui高为10-3 hPa)的所有应用。即使对于像干燥工艺、冶金工艺或树脂究注系统等要求苛刻的工业应用,这些泵也能提供可靠的操作一作为单独的泵，或者在我们的罗茨泵组或涡轮分子泵组中作为前级泵。得益于其创新性的驱动器概念，这些泵都被密封，使得它们清洁且与环境兼容。由于磁耦合旋片泵没有径向轴密封件，所以不存在油泄漏. 隔膜真空泵保养中心

真空泵维修：

真空泵全拆修叫做大修，对采取了局部拆修措施而未能排除故障的一些真空泵，其真空度仍低、仍有渗漏等现象；或者有些泵有下述现象之一者:

如泵发生“卡死”现象，油很脏而且泵内已结了垢，生了锈或用了不适当的油使机械泵内部零部件上结了硬壳（硅汕进入机械泵内，就可能产生这种情形），旋片有较大的撞击声，泵腔内落入异物（金属屑、玻璃屑、铜屑等）划伤泵腔，摩擦发热温升很厉害（超过70℃）等，均需将真空泵全拆开进行清洗修理。

根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类：

(1)一般水泵，压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为'粗'真空。

(2)油泵，压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为'次高'真空。

(3)扩散泵，压强可达0.133Pa以下，(10-3mmHg)为'高'真空。

若要较低的压力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。

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潽拓维修/维修/保养/销售Pfeiffer普发SplitFlow系列：

Splitflow80、Splitflow270、SplitFlow310-3P、 OnTool Booster 150等

三、进出口法兰、冷却水安装

1、泵入口：对正附件、对称拧紧

2、泵出口：防止错位

3、冷却水：无漏水

四、电缆安装

1.对正槽口插入

2、用螺母拧紧，边插边拧

3、检查到位

牵引分子泵的泵腔内含有可自由旋转的转子，并且转子的四周带有沟槽同时用挡板隔开。每一个沟槽的作用就相当于一个单级分子泵，后一级的入口与前一级的出口相连。转子与泵壳之间有0.01mm的间隙，气体分子由入口进入泵腔，被转子携带到出口侧，经排气管道由前级泵抽走。

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