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氦质谱检漏仪的工作原理是利用氦气分子在真空中扩散的特性,通过将氦气注入被检测物体内部或周围环境中,然后使用氦质谱仪检测周围环境中是否存在氦气,如果存在,则说明被检测物体存在漏洞或裂缝。因为氦气分子非常小,能够穿过非常小的漏洞或裂缝,因此氦质谱检漏仪能够检测到非常小的漏洞或裂缝。同时,氦气是一种非常稳定的气体,不会与其他物质发生反应,不会对被检测物体产生影响。



质谱仪要想正常工作,需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下,空气的流动才体现为分子流,质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统



氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪,通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪,是只检测氦的质谱仪,这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了

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管板等焊缝较多或检测面积较大时,可将该部分用塑料薄膜完全罩住并用胶带封住。在塑料罩的不同处做出小孔,在充入一定的氦气前、后各记录zui初的读数,然后封住小孔,1- 2小时后在相同的位置上记录新的读数。如发现泄漏,则应按前述的方法逐条焊缝进行排查直至找到泄漏点。HLD6000冷媒检漏仪



充氦法也称为负压法 ,一个密闭的气室将真空泵和氦气罐连接在一起。将受检零件放置在腔室中,并关闭氦气罐阀。机械泵首先将腔室抽真空,然后关闭真空泵阀,打开氦气罐阀,用氦气填充腔室,并让其静置一段时间。如果被氦气包围的小型设备发生泄漏,氦气将缓慢地填充到设备中。然后打开腔室,移除装置,并使用压缩空气吹走可能吸附在外表面上的任何氦。然后将这些装置逐个(或成组)放置在与检漏器入口法兰相连的容器中。容器排空,节气门打开,泄漏检测器将给出泄漏率响应。HLD6000冷媒检漏仪



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测量真空度的装置称为真空计,热传导真空计是依据低压气体的热传导与压力有关这一现象来进行测量的。它可以通过热丝电阻的变化来反映温度的变化,从而反映热传导的变化,用此种测量方法的真空计称为热阻真空计,又称为皮拉尼真空计。也可以直接用热电偶测量热丝的温度变化来反映热传导的变化,称为热偶真空计。氦质谱检漏仪维护中心




皮拉尼真空计是一种高精度、可靠性高的真空测量仪器。它在科学研究和工业生产中都有广泛的应用,在半导体制造、真空冷却、太空工程等多个领域都有重要作用。皮拉尼真空计维修

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