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结果表明，随着螺旋升角和牵引槽深度增大，氦质谱检漏仪的灵敏度均先提高后下降;增大转子与定子间隙，不利于氦质谱检漏仪灵敏度的提高;选取螺旋升角为22°、牵引槽深为 2.5 mm、转子与定子间隙为 0.3 mm时，氦质谱检漏仪具有较高的灵敏度，同时复合分子泵牵引级性能*靠且结构安全。

除此之外，HLD 6000新型冷媒检漏仪还具有轻松融入本地网络及低维护成本的优势。该产品设有用于测量数据跟踪、存储设置和快速软件更新的USB端口，使用者可以随时进行收集、存储和更新数据等功能。通过选件I/O模块或现场总线模块，可方便的接入本地网络，轻松集成到泄漏检测系统中。在开发HLD 6000时，低维护成本就是考虑的重点，在主装置底部配备参考漏孔“修理厂”，即新设计的COOL-Check托架让快速更换参考漏孔成为可能，而采用无磨损的传感器则*大化保障用户的正常运行时间。冷媒检漏仪维修

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压电阀是利用压电效应制成的一种真空气体流量调节阀。压电阀的部件是由压电陶瓷制成的具有压电特性的膜片。当在压电陶瓷膜片上施加一控制电压时，它将会产生正比于外加电压值大小的变形。同时，带动密封垫移动。于是压电阀流导产生变化，从而改变气体通过压电阀的流量。英福康真空计维修保养

当压电陶瓷膜片上未施加控制电压时，由于弹簧的机械力作用在压电陶瓷膜片和密封垫上，使压电阀气路关闭。因而，可以通过改变施加在压电陶瓷膜片上的控制电压的大小，来改变压电阀的流导，从而改变流过压电阀的气体流量。于是，可实现真空装置的真空室中的真空度调节。英福康真空计维修保养

电容薄膜真空计

属弹性元件真空计，弹性薄膜将规管真空室分为两个小室，即参考压强室和测量室。测量低压强 (P<100帕)时，参考室抽至高真空,其压强近似为零。当测量室压强不同时，薄膜变形的程度也不同。在测量室中有一固定电极，它与薄膜形成一个电容器。薄膜变形时电容值相应改变，通过电容电桥可测量电容的变化从而确定相应压强值。为了防止薄膜发生蠕变，通常采用零位法测量，即在固定电极和薄膜之间加一直流电压，利用静电力补偿薄膜受压强差而产生的应力，使膜片保持零位。

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电源接通后加热电流和测量均无指示。故障产生原因可能包括：指示表电动圈部分断路；热偶规管灯丝断路或规管连接电缆部分断路；无加热电流；加热电流调节电位器断路；与指示表串联的电阻断路。对应的维修方法：更换指示表；更换热偶规管及检修规管连接电缆；检查稳流电源有无电压输出；检修调节电位器及其线路；更换电阻。英福康真空计维修公司

真空压力表必须垂直安装,力求与测保持同一水平,如相差过高计入液柱所引起的附加误差,测量气体时可不必考虑.安装时将表壳后部防爆口阻塞,以免影响防爆性能.正常使用的测量范围:在静压下不超过测量上限的3/4,在波动下不应超过测量上限的2/3.使用时如遇到仪表指针失灵或内部机件松动﹨不能正常工作等故障时应进行检修.真空压力表应避免震动和碰撞,以免损坏。英福康真空计维修公司

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