广州潽拓光电科技有限公司——inficon英福康真空计保养拆解氦质谱检漏仪维修

氦质谱检漏法利用氦质谱检漏仪的氦分压测量原理，测量被试件的氦泄漏量。如果被测零件的密封表面有泄漏，则表明泄漏的氦气和其他气体已从泄漏处排出。泄漏气体进入氦质谱仪泄漏检测器后，由于其选择性检测能力，仅显示气体中的氦分压信号值。在获得氦气信号值的基础上，可以通过比较标准泄漏孔来获得氦气从泄漏孔的泄漏量。

根据泄漏检测过程中显示的泄漏气体位置与被测对象之间的不同关系，氦质谱泄漏检测方法可分为真空法、超压法、真空压力法和背压法。综述了这四种氦质谱检漏方法的检测原理。优点和缺点以及测试标准。

氦气易于弥散，且分子尺寸小，能够渗透到被测物体内或漏出到外界。因此，在使用氦质谱检漏仪时，将被检测物体充入氦气，并利用泄漏口外的吸气探头来探测泄漏气体中的氦气，通过光电倍增管检测氦气的信号强度，判断是否存在泄漏。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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在真空表中受大气作用力引起应变元件的是弹性金属管，在膜盒真空计中是弹性薄膜。膜盒真空计的结构原理如图 4-2 所示。膜盒真空计中，有一个由应变膜和玻璃外壳构成的一个密封盒，盒内的气体压力已预先抽至0.1Pa 以下，作为参考压力，指针与联动机构安放在玻壳内。当待测压力变化时，应变膜上感受到不同的力，这样就能读出不同的读数。

INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑的装置中，测量范围从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）

由于这种真空计的参考压力是0.1Pa，这就为测量较低的压力提供了可能。其测量范围为0~10Pa。根据其不同的型号，可细分为0~2500Pa0~2.5X10'Pa和0~105Pa。这种真空计不受大气压值的影响，一般精度为满刻度值的士1%，可广泛地用于激光器件的研制和生产单位。

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广州潽拓光电科技有限公司是进口真空泵供应商,为客户24小时提供技术支持及售后维保服务，包括磁悬浮分子泵、高真空分子泵、分子泵、隔膜真空泵、涡旋分子泵，涡轮分子泵、超高真空泵、复合分子泵等。

 皮拉尼真空计测量范围一般为5x10-4~1000mbar。一般用于各种高真空泵的前级压力测量，如光伏、镀膜、等离子行业等，也用于各种中低真空测量。

使用氦质谱检漏仪必须注意以下几点：

不要随意拔出配管：氦质谱检漏仪处于加压状态，禁止拔出连接仪器和减压阀之间的配管接头。不然大量的压缩空气被吹出，会对人体有害。不得挤压：不得cai踏仪器或坐在仪器上，不得将其它物品放置在仪器上。

如何选择检漏方法

一般根据被检测产品时间、使用工况来选择检漏方法，氦检漏设备尽可能模拟被检件实际工作环境才能:

大程度保证检测可靠性，具体实施方案可与厂家沟通

氦质谱检漏是以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想方法。

氦质谱检漏法有优点在于：氦是惰性气体，对大气无污染，使用安全；氦原子质量小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。氦气在大气中含量小（5ppm），不易受干扰。氦质谱检漏仪检测灵敏度高，充气柜真空箱测漏系统，速度快，适用范围广。

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