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压力控制仪通常是由压力给定单元、真空测量单元(真空计)、压力调节单元、驱动电路及真空调节阀等基本单元组成。它具有手动和自动压力调节功能。对于采用分立元件的压力控制仪,其给定单元通常是一个电位器,而压力调节单元通常是具有比例积分( PI)或比例积分微分(PID)运算功能的运算电路;
对于微机化的压力控制仪,其给定单元通常是通过键盘或码盘进行压力设定;而压力调节单元和测量单元合为一体,为一单片机系统,其压力调节功能是利用单片机系统,通过数字PID运算,实现压力调节。至于驱动电路及真空调节阀,同类型的两种不同电路结构的压力拄制仪大致相同。英福康真空计保养
热传导真空计利用气体在不同压强下热传导能力随之变化的原理测量气体压强。在这类真空计中,以一定加热电流通过装有热丝的规头,热丝的温度决定于加热和散热之间的平衡。散热能力是气体压强的函数,故热丝的温度随压强而变化。英福康真空计保养
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常规直读法记数
虽然科学记数法能够节省一定的空间和时间,尤其对于仪器仪表显示受长度限制时很有用,但是这种记数法需要一定的转换才能明白其代表的实际数值,这对于很多现场的yi线操作工人而言可能会有障碍,因此有的真空计会采用常规的直读法记数方式,方便易懂。真空计维修公司
在真空镀膜设备真空装置自动控制中,往往要进行真空测量,由于真空装置种类繁多、工作压力范围也不尽相同,因此,从105Pa—10-5Pa各真空区域的真空测量坞会遇到。通常使用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。为了拓展真空计的功能,真空仪器厂家还生产包括遥控遥测、模拟量输出、RS - 232C等通信接口、压力调节等功能模块板供用户选配。真空计维修公司
氦是一种轻惰性气体,在被喷射后自动上升,为了准确地将氦喷射到泄漏孔中,应当从上到下和从近到远(相对于检漏器位置)喷射氦。此外,泄漏孔与质谱仪室的反应时间不同,因此,氦注入应从靠近检漏仪的一侧开始,并从近到远进行。真空计维修公司
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加热电流失控,包括加热电流过大无法调小或者加热电流过小不能调大或无法调节。这种故障产生原因包括:调节晶体管击穿(晶体管式);调节晶体管与散热器之间的绝缘破坏;加热电流调节电位器一端断路。维修方法:更换调节晶体管;检修绝缘部分;根管电位器或检修调节电位器电路。分子泵控制器维修中心
冷阴极电离计阳极筒的两端有一对阴极板,在外加磁场作用,阳极筒内形成潘宁放电产生离子,根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。电阻真空计利用加热元件的电阻与温度有关,元件的温度又与气体传导有关的原理,通过电桥电路来测量真空度的真空计。分子泵控制器维修中心
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