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INFICON B-A 型皮拉尼复合真空计, BPG400, 将两种真空计集成在一个简单小型的单元内, 测量范围从 5 x 10-10毫巴至大气压 (3.8 x 10-10乇至大气压). 复合技术降低了安装, 设置和集成的复杂性. 选择一个经济型规管内的 BPG400 用于普及和可再现过程中的基本压强测量.阿尔卡特分子泵机组维修

压力测量中，除ji少数直接测量外，绝大多数是间接测量。就是先在被测气体中引起一定的物理现象，然后再测量这一过程中与压力有关的物理量，进而设法确定压力值。阿尔卡特分子泵机组维修

特点

从 5 x 10E-10mbar至大气压（3.8 x 10E-10Torr至大气压）的很宽广的测量范围

10E-8至10-2 mbar压力范围内，±5%you秀的重复性

BCG450 10Torr以上压力测量无关气体组分

皮拉尼联锁保护Bayard-Alpert系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染

长使用寿命氧化钇铱丝

备有可选的图形显示器和现场总线接口

高真空/皮拉尼自动调节

符合 RoHS 标准

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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间接测量真空计 压力为10-1Pa时，作用在1cm2表面上力只有10-5N，显然测量这样小的力是困难的。但可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。

属于这类的真空计有：

(1)压缩式真空计：其原理是在U型管的基础上再应用波义耳定律，即将一定量待测压力的气体，经过等温压缩使之压力增加，以便用U型管真空计测量，然后用体积和压力的关系计算被测压力。Inficon真空计 维修保养厂家

(2)热传导真空计：利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。

(3)热辐射真空计：利用低压下气体热辐射与压力有关原理。

(4)电离真空计：利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离，产生的离子流随电力变化的原理。如：热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放*性电离真空计等。

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按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

氦质谱检漏背压法

背压法适用于那些行业？背压法主要用于检漏各种电子元器件。

采用背压法进行泄漏检测时，首先将被检测产品放入高压氦气室中，浸泡数小时或数天。如果被检测产品表面有漏孔，氦将通过漏孔压入被检测产品的内部密封腔，从而增加内部密封腔内的氦分压。然后取出被检测产品，将表面残留的氦气吹出，然后将被检测产品放入与检漏仪连接的真空容器中。被检测产品密封腔内的氦气将通过漏孔泄漏到真空容器，然后进入氦质谱检漏仪，以测量被检测产品的总泄漏率。检漏仪给出的泄漏率值为测量泄漏率，需要通过转换公式计算被检测产品的等效标准泄漏率。

背压法的优缺点

背压法的优点是检测灵敏度高，可实现小型密封容器产品的泄漏检测，可批量检测。

背压法的缺点是大型密封容器不能泄漏，否则由于密封腔体积过大，加压时间过长。此外，每个测量泄漏率对应两个等效标准泄漏率。仔细检查后，需要采用其他方法进行粗略检查，以消除大泄漏的可能性。

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