广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特进口分子泵 Alcatel ATH1600M分子泵维修

Alcatel ATH1600M法国阿尔卡特磁悬浮分子泵维修,Alcatel ATH1600MT阿尔卡特分子泵进气法兰口DN200ISO-K/DN200CF，出气法兰口DN40 ISO-KF，抽速可达到1400 L/s，极限压力4.5X.10-6 mTorr/6X10-9 mbar,转速为15000-39000rpm，阿迪克森ATH1600MT磁悬

   真空泵维修中，一般会接到以下几个故障案例：①会出现真空泵无法启动；②真空泵达不到极限真空；③真空泵的抽速太慢；④真空泵工作中的温度过高；⑤真空泵的噪音过大；⑥真空泵漏油。本文主要来详细分析下真空泵无法启动这一个问题，用过真空泵的用户应该都会知道，使用真空泵的过程中，如果长期未使用或者出现故障时都会导致真空泵无法正常启动，例如，启动一下就会突然停下了，甚至都启动不了。Alcatel ATH1600M分子泵维修

 真空泵机械选择：

      真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。Alcatel ATH1600M分子泵维修

      真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特进口分子泵 分子泵养护

半导体器件的生产制造工艺极其复杂，需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作，例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行，而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。分子泵养护 

罗茨真空泵在石油、化工、塑料、nong药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。同时也广泛用于石油、化工、冶金、纺织等工业。真空泵配件作为真空泵消*器，用于真空泵的噪声治理。分子泵养护

转子的内部冷却:为了使罗茨真空泵在更高压差下工作，可采取更有效的冷却方法，即将转子用循环油冷却，在泵轴两端分别有油孔、油径轴头打入，经转子内壁再从另一端排出。冷却油除冷却转子外，还润滑齿轮和轴承。这种冷却效果较好，泵在运转时转子温度低于外壳温度，大泵常采用这种方式。 分子泵维修，例如在80Torr压差下工作时，罗茨真空泵转子温度较外壳低78度，同时还发现泵负荷越重时，则间隙越大，这是因为转子用油冷却，温度比壳体低，负荷越大，壳体膨胀越厉害，轴间距加大，所以间隙会增大。

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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特进口分子泵 高真空分子泵维修中心

了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。 高真空分子泵维修中心

冲击性检测对一批泵在运作和非运作标准下开展一系列检测，证实泵的耐冲击性。每一个泵遭受30–120g的瞬时速度，等同于从82公分/32英寸高坠落（处在非运作情况的泵）和从15厘米/6英寸高坠落（处在运作情况的泵）。在泵处在竖直、水准和倒立起来情况时，各开展6次冲击性检测所检测的泵在24次坠落后无一切难题（不产生转子机械设备触碰，泵运作情况不会改变）。在每一次坠落后认证泵的不平衡，结果显示转变很小，远小于阀值。高真空分子泵维修中心

涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异

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