广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子真空泵 分子泵养护

半导体器件的生产制造工艺极其复杂，需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作，例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行，而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。分子泵养护 

罗茨真空泵在石油、化工、塑料、nong药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。同时也广泛用于石油、化工、冶金、纺织等工业。真空泵配件作为真空泵消*器，用于真空泵的噪声治理。分子泵养护

转子的内部冷却:为了使罗茨真空泵在更高压差下工作，可采取更有效的冷却方法，即将转子用循环油冷却，在泵轴两端分别有油孔、油径轴头打入，经转子内壁再从另一端排出。冷却油除冷却转子外，还润滑齿轮和轴承。这种冷却效果较好，泵在运转时转子温度低于外壳温度，大泵常采用这种方式。 分子泵维修，例如在80Torr压差下工作时，罗茨真空泵转子温度较外壳低78度，同时还发现泵负荷越重时，则间隙越大，这是因为转子用油冷却，温度比壳体低，负荷越大，壳体膨胀越厉害，轴间距加大，所以间隙会增大。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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旋片泵为双级结构，是由高压级与低压级二部分组成，它的吸入口与真空容器或真空设备连接，在运转时容器内的气体将大量吸入与排出。当设备获得真空时，高压级排气阀片将封闭，高压级吸入的气体将转送到第二级，并经第二级吸入与排出，这样真空设备可获得一定的真空。根据用户使用情况，可配备真空增压泵，将该泵做为前级泵，由于增压泵的抽气力加强，前级泵连续抽除，能使设备获得更高的真空。分子泵升级改造

真空泵抽不出液体

　　1.没有灌注液体。解决方案：重新灌真空泵。

　　2.吸入管、出管或真空泵的流道堵塞。解决方案：消除杂物

　　3.吸入管或真空泵内没有排净气体。解决方案：检修吸入管路并排净气体

　　4.吸上高度超过允许范围。解决方案：按允许吸上高度重新按装真空泵

　　5.压出管路太细，管路损失太大。解决方案：换适合的压出管路

　　6.使用扬程超过了设计扬程。解决方案：重新选真空泵

　　7.输送热的、挥发性的介质。解决方案：降低吸程或采用倒灌按装。

　　8.转向反了。解决方案：纠正转向

压缩比 涡轮分子泵的压缩比是指前级管道（排气口处）的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同，泵对各种气体的压缩比也不同。 泵对氢的压缩比很小，一般为1000左右，这样一来如果前级管道中氢的压力为110-7Torr（13.33Pa），那么进气口处氢的压力则小1000倍，即为110-10Torr（13.33nPa）。由于氢是超高真空系统中主要的残余气体，所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。分子泵升级改造

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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子真空泵  磁悬浮涡轮分子泵维修

含加热模块的磁悬浮分子泵主要用于半导体制造设备，在集成电路刻蚀等工艺过程中，部分工艺气体容易冷却凝结，附着在分子泵转子及内壁，造成分子泵转子不平衡量增大或抽气通道阻塞，影响分子泵的稳定运行。加上加热模块可以适当提高泵体温度，降低工艺气体凝结，提高分子泵稳定性及寿命。   磁悬浮涡轮分子泵维修

我们所称呼的“质谱仪单元”是氦气检漏仪的核xin部分。气体从检漏 仪的入口被导入质谱仪单元。在这里用高能量的电子束对带电的气 体粒子进行撞击 电子束利用金属丝在高温下产 生。如果中性气体粒子层的电子被撞击，它会从电子层脱出。结 果，带正电的气体粒子—离子—留了下来。大部分导入的气体粒子被电子之间的碰撞电离。 磁悬浮涡轮分子泵维修

分子泵的工作区间是有限制的，*大启动压强也要在100pa，直接大气启动只会长期处于过载状态运行，并无抽气效果。 磁悬浮涡轮分子泵维修

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