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安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构，由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。

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分子泵的电机转子叶片务必具备与气体分子速率相仿的角速度。具备那样的高速运行才可以使气体分子与动叶片相碰撞后更改任意透射的特点而作定向运动。

分子泵的转速比越高，对提升分子泵的抽速越有益。实践活动说明，对不一样分子量的气体分子其速率越大，泵抽除越艰难。

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当分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵；

当分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作；

当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。