广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦进口分子泵
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安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构,由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。
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美国Agilent TwisTorr 304 FS高真空涡轮分子泵
高真空涡轮分子泵内有一个高速旋转(每分钟几万转)的转子,转子上有涡轮和拖动级进行抽气。随着技术的不断进步,市场不仅对泵性能的要求越来越高,更对其小型化、高可靠性、维护方便性及灵活易用性等都提出了更高的要求通常的分子泵拖动级采用圆柱螺旋形的沟槽,而安捷伦 TwisTorr 技术把拖动级放在了薄薄的圆盘上,这样就可以在有限的空间内集成多对拖动级转子盘和定子盘,节省空间的同时又能提率和性能。
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复合式分子泵的形式很多,按结构分,主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的叶片形状,级数在l0级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比,提高泵的出口压力。