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当停泵后，碳氧化合物返流很快通过泵进入直空室内，如果系统仍保持在直空状态下，碳气化合物将会粘在清洁的叶片和直空室的表面上，在随后再运转该系统时，将极难抽除粘着的碳氧化合物，另一方面，在涡轮分子泵停止运转时，如果给泵充入干燥氙气或干燥空气，刚该干燥气体将给暴露的表面提供一层气体保护层，而且在系统充气后，返流的碳氧化合物由于与充入的气体混合起来，从而它的粘着能力很弱，在混合气体中碳氧化合物所占比例*小，在下一次抽空时也很快就能被抽走。

一般导致真空泵无法正常启动的原因

1、驱动电机电压不正确或过载。维修进口真空泵

解决办法：提供电机正确的电压。

2、电机启动器过载保护太小或设定值太低。

解决办法：将电机启动器过载保护的设定数据与电机铭牌的数据相对照，必要时，请校正。如果环境温度较高：可将设定值根据正常电机电流提高5%。

3、保险丝熔断。

解决办法：检查保险丝。维修进口真空泵

在何处充气

在涡轮分子泵的前级侧充气，能强制使碳氧化合物立刻通过涡轮分子泵流入真空室。另一方面，若在涡轮分子泵吸入侧充气，能达到以清洁气体荡盖表面的目的。并使气流流向涡轮分子泵(自上而下)，能暂时阻止、延迟碳氢化合物的返流，也有些涡轮分子泵在压缩级之间进行中间充气，它和在吸入侧充气控制碳气化合物返流几乎同样有效。在超高真空系统中，在压缩级充气尤其*越。因为中间充气不需要价格昂贵的金属密封的可烘烤的充气阀。维修进口真空泵

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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在某些中真空应用中，需要进入10-1Pa范围，这对罗茨泵的二级机组往往难于实现，而使用二级罗茨泵串接的三级机组可使真空度提高一个数量级而进入10-1Pa，所以中真空应用也常用三级机组。由于分子增压泵在10-1Pa可以满抽速，所以亦可以在三级中真空机组中取代两级罗茨泵。一般地讲，长时间工作在中真空的低端压力范围的罗茨泵，分子增压泵可以完全取代。而长时间工作在中真空*端压力范围的罗茨泵相对而言应该较少，因为这一压力范围前级泵往往还具有强劲的抽速。高真空分子泵维修

一、真空泵正常运转使用时，每三天对以下内容进行一次点检：

A、泵油是否在游标范围以内

B、泵油是否有变黄变黑、混浊现象

C、声音是否出现异响

D、真空泵运行时是否出现漏油

当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。高真空分子泵维修

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旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下:在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。真空泵养护维修

旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙)，转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。真空泵养护维修

4、杂音振动----管路支撑不稳，润滑油混有气体，产生汽蚀，轴承损坏，电动机超载发热运行稳固管路，提高吸入压力排气，降低真空度，更换轴承，调整按电动机发热方法排除5、电动机发热----流量多大，超载运行，碰擦，电动机轴承损坏，电压不足，关小出口阀，检查排除，更换轴承，稳压6、泵浦漏油----机械密封磨损，泵体有砂孔或po裂，密封面不平整，安装螺栓松动更换密封套件，修补泵浦，修正密封面端面，紧固螺栓。真空泵养护维修

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