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真空通常由抽气机获得，其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。

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干式螺旋真空泵是一种较新的阿特拉斯真空泵系列下的设备，具有可靠性高、寿命长、动平衡性能好、适应性强、多相混输等特点。它能去除腐蚀性、有毒、含尘气体和可冷凝蒸汽等气体。干泵有着广泛的应用，包括半导体工业、化学工业、薄膜工业等，这三个行业的需求是推动干式泵市场的主要动力。在欧美半导体行业，约有一半的企业采用干式真空泵代替油封式机械泵。我国半导体行业主要采用进口干式泵。因此，应加强国产干式真空泵的研发，使之成为我国真空行业新的经济增长点。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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要了解真空泵卡死的原因，我们首先要了解真空泵的结构，是有真空泵泵体（缸体，转子），油箱，油管，联轴器，电机（马达）等部分组成，真空泵是属于旋片式真空泵，有油式真空泵，无油真空泵两种，油式真空泵是用真空泵油来润滑的，真空泵油在旋片式真空泵里面不仅起润滑作用，还起到密封作用，真空泵的压力和流量都是要靠真空泵油的正常运转来保证的。真空泵油在运转时，通过真空泵油管把油箱里面的真空泵油带到泵体，在泵体里面运转后再通过回油管回流到油箱里面，因为真空泵运转时温度会达到70-105度，部分真空泵油会变成油气，随着尾气排到排气口，通过没有失效的油雾分离器（排气过滤器）过来下来，又回流到真空泵油箱里。要保证真空泵不因缺油而卡死，我们就要保证真空泵油油量要足，管道通畅，真空泵油不乳化，不产生淤泥能够在真空泵里面流动。

Pfeiffer TPH240普发分子泵维修-Pfeiffer TPH240普发二手分子泵-德国普发涡轮分子泵维修 Pfeiffer TPH240普发涡轮分子泵进气法兰口DN 100 ISO-K，出气法兰口DN25 ISO-KF，抽速可达到230 L/s，转速为60000rpm，对应的控制器为：Pfeiffer TCP380，Pfeiffer TCP310等.

在进行进口真空泵维修的时候，还有一个方面的因素是我们必须要注意的，那就是一定不能让自己的设备带着故障工作，因为这种不仅仅是会影响工作的效果，而且会有可能造成更加严重的后果。

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德国普发Pfeiffer HiPace 1200C涡轮分子泵维修- 普发HiPace 1200涡轮分子泵保养，Pfeiffer HiPace 1200涡轮分子泵进气法兰口DN200 ISO-K，出气法兰口DN40 ISO-KF，抽速可达到1250 L/s，转速为37800rpm，对应的控制器为：Pfeiffer TC1200等。

叶片的视角大，则排气管速率大，发动机压缩比小。叶片的视角小，则排气管速率小，发动机压缩比大。分子泵的排气管速率大部分不会受到汽体类型的危害，泵的限气体压强达到10-8Pa，可是对轻分子结构/分子，排气管速率会有一定的减少

分子泵的清理十分关键，假如前面泵没有问题，而真空泵在要求的時间内沒有做到要求的真空值，在清除漏汽的状况下，表明分子泵內部脏化了，就必须开展清理。分子泵的清理分成立即开展清理和拆装清理，前面一种适用內部不太脏，后面一种用以內部比较严重脏化。

常常选用立即清理，其方式 以下:

(1)关闭分子泵，开展排气管。

(2)从机器设备上当心卸掉分子泵，留意不必遇到插口的边沿一部分，以防危害密闭性。

(3)卸掉冷却塔、润滑脂包等。

(4)将分子泵的高真空泵插口朝下，竖直地方人一个盛满没有水酒精的器皿中，液位高宽比略低前面真空泵插口。

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