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按工作原理和结构特点分类

（1）机械式容积真空泵

靠机械运动使泵腔工作容积周期变化来实现抽气作用的是机核式容积真空泵。属于这类泵的有往复式真空泵、旋转式机械泵(包括旋片式、螺杆式、罗茨式、液环式等)。这类泵中除机械增压泵外，一般均可单独使用。

（2）射流式真空泵

没有机械运动部件,主要靠通过喷嘴的高速射流来抽真空的是射流式真空泵。属于这类泵的有水蒸气喷射泵、空气喷射泵、水喷射泵以及各种扩散泵等。这类泵结构简单,工作可靠,寿命长,易于维修,应用比较普遍。

真空泵本身漏气

　　(1)密封圈漏气。解决方案：检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈

　　(2)气镇阀垫圈损坏或未拧紧。解决方案：更换垫圈并拧紧气镇阀

　　(3)排气阀片损坏，密封不好。解决方案：更换气阀片。shimadzu tmp-203高速分子泵保养多少钱

　　(4)真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。解决方案：修整真空泵腔或更换。

　　(5)由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。解决方案：拆开端盖，检查是否有杂物或不平整，并进行清洗或修理。

(6)转簧变形或折断及旋片动作不灵。解决方案：整修或更换弹簧变形，使转子积旋片配合良好

(7) 进气口的过滤网被堵塞。解决方案：取下过滤网清洗干净，再装上去。

(8)因加工不良或磨损造成配合间隙过大。解决方案：检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复或更换。

(9)真空泵运转中摩擦发热。温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。解决方案：通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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真空泵维修后的安装要求

1.安装前应检查机组紧固件有无松动现象，泵体流道有无异物堵塞，以免泵运行时损坏旋片和泵体。

2.安装时管道重量不应加在泵上，以免使泵变形。

3.安装时必须拧紧地脚螺栓，以免起动时振动太大，影响泵的使用性能。

4.为了维修方便和使用安全，在泵的进出口管路上各安装一只调节阀及在泵出口附近安装一只压力表

5.保证在额定扬程和流量范围内运行，延长泵的使用寿命。

6.安装后拨动泵轴，旋片应无摩擦或卡死现象，否则应将泵拆开检查原因。

真空泵的好坏决定于其机械结构和油的质量，岛津涡轮分子泵维修服务费用，使用真空泵时必须把它保护好。如果蒸馏挥发性较大的时，会被油吸收结果增加了蒸气压，从而降低了抽空效能，如果是酸性气体，那就会腐蚀油泵，如果是水蒸气就会使油成乳浊液而抽坏真空泵。

因此使用真空泵时必须注意下列几点：在蒸馏系统和真空泵之间，必须装有吸收装置。蒸馏前必须用水泵抽去系统中的蒸气。如能用水泵抽气的，则尽量用水泵，如蒸馏物质中含有挥发性物质，可先用水泵减压抽降，然后改用油泵。减压系统必须保持密不漏气，所有的橡皮塞的大小和孔道要合适，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。

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扩散泵的运用

使用扩散泵时,需按说明书规定,保证有一定的加热功率和冷却水流量，被抽容器内的压力由前级泵抽到低于允许zui大工作压力后，才能启用。另外宜于在泵完全正常工作后,才打开阀门正式使用。停止使用时,需要待泵油冷却后才能关掉前级机械泵,如有可能将扩散泵始终保持在真空状态下*好,*后关去冷却水。

抗震动完成检测对一批泵（处在运作和非运作标准下）开展一系列检测，证实对外界源造成震动的耐受力在105分鐘的震动周期时间中，全转速比和不运作的每一个泵在垂、水准、倒立起来方位上遭受0.5–3g瞬时速度水准的震动。该检测确认了泵的可靠性及其耐振性，由于未观查到转子机械设备触碰或泵运作情况的更改，且泵不平衡依然远小于阀值。

轴封发热填料压得太紧或磨擦

处理方法：放松填料，检查水封管；

水封圈与水封管错位

处理方法：重新检查对准；

冲洗、冷却不良

处理方法：检查冲洗冷却循环管；

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