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真空泵维修：

真空泵全拆修叫做大修，对采取了局部拆修措施而未能排除故障的一些真空泵，其真空度仍低、仍有渗漏等现象；或者有些泵有下述现象之一者:

如泵发生“卡死”现象，油很脏而且泵内已结了垢，生了锈或用了不适当的油使机械泵内部零部件上结了硬壳（硅汕进入机械泵内，就可能产生这种情形），旋片有较大的撞击声，泵腔内落入异物（金属屑、玻璃屑、铜屑等）划伤泵腔，摩擦发热温升很厉害（超过70℃）等，均需将真空泵全拆开进行清洗修理。

真空不足：

造成真空不足的原因很多，主要有叶片磨损、缸体磨损以及密封性能降低。同时吸入气体温度太高也会造成真空不足，因此在工艺温度很高的情况下需加装冷却装置来冷却吸入气体。平时真空泵油的选用也会造成真空不足的现象发生，比如油品不好，造成乳化导致叶片不能进行正常做离心运动而导致真空度下降。岛津涡轮分子泵 tmp-1303lmc维修中心

噪音大：

噪音大是很多用户经常碰到的问题点，这主要是由于泵浦内部发生碰撞发生的，比如叶片与缸体碰撞，轴承位变形导致轴芯晃动，以及内部螺丝松动都会造成噪音大的问题。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——岛津涡轮分子泵磁悬浮高真空分子泵维修

扩散泵的缺点是返油问题，加上挡油帽和冷阱及正确操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

油扩散泵致命的缺点就是泵油返流污染被抽系统。经过大量的研究，现代扩散泵由于增加了挡油帽、障板和冷阱等措施，使扩散泵的返油率降得很低。所有的油扩散泵都存在一定程度的返流现象。返流的气体是少量残余的碳氢化合物。返流有两个不同性质的来源：泵油分子朝向扩散泵顶喷咀的上方运动构成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的迁移或再蒸发。利用好的锅炉和喷咀设计，可使主要的返流降至低。在顶喷咀上方设置水冷挡油帽，它已成为顶喷咀的拦截返油的水冷装置，由于不断对冷帽结构的改进，使主要返流大大降低。

影响油扩散泵性能的因素如下。

1、油扩散泵的返流。磁悬浮高真空分子泵维修

2、气体分子的反扩散。

3、扩散泵油的裂化分解，一般扩散泵对其工作油的要求是饱和蒸气压以内(室温下0.00000001Pa左右)，受热稳定性好，不易被氧化，分子量大的高沸点的液体，如硅油是扩散泵中比较理想的工作油。

4、泵清洗不干净，污染物质留在泵内并重复循环，影响其真空度。

被抽气体种类、成分、杂质情况及系统工作时对污染的限制要求

被抽气体性质及对污染的要求是选择不同特性真空泵的一个重要条件。它不但与工作时泵的性能有关，而且直接与泵的工作寿命及检修维护情况有关，特别是在化工生产中，它往往是正确选泵的一个关键因素。

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真空泵漏油部位多在轴封、放油孔、油窗、油箱等处，主要原因是磨损时间过长，密封件损坏或装配不良—未压紧和上紧螺钉时用力不均—而造成。发现某处漏油时，维修工作者和操作者应立即采取措施，不应习以为常，认为“小毛病”不伤大雅而听之任之。否则长此以往将引起泵漏气或损坏。漏油并不难解决，只须先放出泵油，拆开泄漏处以调换密封件即可。

目前已介绍过轴封漏的解决办法，对放油孔渗漏，可用铅板、橡胶纸板、耐油真空橡皮板等作成垫换上，对油窗等其他密封处漏油可同样处理。箱体本身掺漏较少见，多由砂眼引起，可用环氧树脂等堵漏剂将其封死。复合分子泵

10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？答：①电压不稳②强干扰③高压打火④认为**11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要**仪器和特定的测试环境12、分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

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