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inficon真空紧凑型的校准泵组就能够组建起这样一个系统。谱拓认为这个易于使用的便携式系统是专为同时在线进行多个仪器检测而量身定做的。其系统具有使用便捷、快速及符合人体工学标准的特点。

校准要求

在进行校准前，必须满足如下条件：

■系统极限压力ρE必须超过 很小校准压力ρmin的50倍

(ρE≤ρmin/50)

■环境温度必须恒定(±1°C)

■校准系统必须热稳定

■标准真空计和其他真空计在测量时真空度必须稳定

inficon真空解决方案

inficon真空提供了一套紧凑、便携的泵组用于校准。这套泵组由一套涡轮分子泵组(例如，HiCube80Eco)和一个采用玻璃珍珠喷沙工艺的不锈钢腔体组成。

涡轮分子泵组由一个带Holweck级的(HiPace80)涡轮分子泵和一款干式压缩隔膜泵(MVP015-2)组成。这款泵组的抽速 很高可达67l/s并且 很终真空度可达110-7 hPa。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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使用便携式真空计校准装置“小尺子”都出现在什么地方？便携式真空计校准装置自研制代至今，近几年来，产品得到国内外30多家单位的应用。“小尺子”发挥着“大作用”，在嫦娥系列月球探测器、火星探测器、空间站、北斗导航等重大航天型号任务的研制试验及发射中得到了极大应用；在芯片、行波管、高大上电气、真空器件、高精度时钟、电池等生产过程/生产设备的定期校准中也发挥着重要作用；

同时，在航空发动机、火箭、等的试验与生产，特种钢材冶炼、高纯度气体制备、装备生产现场都曾出现便携式真空计校准装置的小身影。科技要发展，计量须。2022年，514所将继续开足马力加持技术攻关，做好当前产品优化升级和市场推广，做好后续的深度开发和成果转化，为所高质量发展贡献力量，以实际行动为建设重大工程的顺利开展提供高可靠测量技术保障。

隔膜片控制器Tessent是SoC测试设计（DFT）解决方案的，并通过其Tessent安全生态系统在汽车功能安全领域确立了优势，这两个产品是整套解决方案的基础。包括半导体设计和生产、功能安全、网络安全和该领域产品的功能。包括SoC的结构、电气和功能能力，它还通过UltraSoC支持西门子的数字孪生系统，从而提供对真实设备的监控，

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石英真空计应用

在风洞中的应用

风洞模型测压试验是获得气动载荷分布和气动特性的重要方法之一。常规高速超声速风洞测压在高于2kPa高压已能够获得较好的精度，但在1kPa以下压强暂无法获得高精度的测量结果。而模型背风区压强测量，测力试验底部压强测量，低密度风洞测压试验等均存在大量微压测量任务。

用石英真空计已能测量0.2kPa-2kPa之间的压强。目前在风动中测量压强要用一细长管道将气体引出，管道长为1.3m，内径为0.9mm。风动中测量压强是要测量压强的分布，即多点测量，这些是与通常的压强测量不同的。多点测量是将石英晶振安装在一个集成箱中，由细长管道通到被测量的位置。晶振测量电路将测量到的晶振电压与电流送到统一的主控板，该主控板就存有32个位置的压强值。

由于在被测压强位置与晶振之间存在细长管道对测量会有影响，其一是使时间常数增大，读数变化缓慢，实验测量在300Pa压强时，时间常数约55秒，在风洞测量中此时间常数仍可接受。其二是细长管道会使测量下限升高。因为晶振位置总会存在一定的放气与漏气，若放气与漏气量为Q，则在晶振处的 很低压强应为P=Q/S，Q为晶振处的放气与漏气量，S为经过细长管道后晶振处的有效抽速。实验测得经细长管道后 很低指示压强为10Pa，这对测量大于0.2kPa压强管道引起了下限的增加，对测量并无很大影响。石英真空计用于大于0.2kPa压强，测量精度约为15%。

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