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热传导真空计的原理？通过什么量的测量来反映热传导的变化？

答：热传导真空计是依据低压气体的热传导与压力有关这一现象来进行测量的。它可以通过热丝电阻的变化来反映温度的变化，从而反映热传导的变化，用此种测量方法的真空计称为热阻真空计，又称为皮拉尼真空计。也可以直接用热电偶测量热丝的温度变化来反映热传导的变化，称为热偶真空计。

影响热传导真空计测量下限的原因是什么？

答：热丝的热量除了气体传热外，还可以沿着热丝本身向两端传热，即固体传热；还可以以辐射的方式传热，这两种传热方式与压力无关，当压力较低，气体的传热量明显低于固体的传热和辐射传热时，就不能反映压力的变化了，即达到了测量的下限。

热传导真空计为什么易老化？

答：因热丝长期工作在高温下，受气体作用易氧化变细，或导致热丝本身结晶构造变化，因此会改变热丝的电阻，造成零点的漂移，这是属于热丝本体的。热丝表面因会吸附气体而改变了表面的适应系数，即热交换的机制，造成灵敏度的变化。以上均属于老化现象。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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真空计，又叫真空规。半导体设备中，不可避免的用到真空计，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。

是什麽？能做什么？怎么用？

1，是什麽？真空计，字面意思，计量真空度的仪器。

2，能做什么？真空计主要用来测量真空，或者叫测量压强大小。腔室里面气体多，压力大，压强大，真空计显示的数值就大；反之，真空计显示的数值小。

3，怎么用？一般就是把真空计的物理接口，KF接口或者是螺纹接口接到腔室上，然后把真空计的电气接口接到电脑或者的显示仪表上。这样就可以测量腔室的真空度，也能看到真空度具体的数值了。

4，注意，真空计是有分类的，有的适合测量低真空，也就是压强大一些的；有的适合测量高真空，也就是压强小一些的。一般常用的是热电偶真空计，皮拉尼真空计，冷阴极真空计，电离真空计。

自己接触过的真空计有电离式，皮拉尼式和冷阴极式真空计。

具体各自的工作原理，大家可以搜一搜，如果需要，我下次补上，一块学习。

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每一个调试工程师都期待有一款便携式精巧而且结实耐用的真空计。为达到这类要求，谱拓公布了一款携带式的真空计套服inficon。现阶段正限营销，价税合计5000元套。套服包含：数字万用表尺寸的便携式控制板，根据可伸缩式铜线联接的真空泵规管，也有便捷带上的迷你型行里箱。

精巧又功能齐全的便携式控制板该套服的控制板选用MicroUSB数据线和5号充电电池双电源开关配电，用电瓶配电时可以表明所剩用电量，还能够设定全自动关掉時间来节约用电量，带背光的LED显示器让真空泵读值在太阳底下和黑暗的条件里都清楚可见。

inficon可以设定Pa,kPa,mbar,Torr,mTorr等11种压力单位，还能够挑选 当然记数或是科学记数法来表明读值。假如你设定一个警报值，它可以在机械泵抽中某一真空值时得出响声提醒，那样就不需要一直盯住真空泵读值了。有工作经验的技术人员通常可以根据剖析压升或是损耗的线条来分辨系统软件是不是泄露或是分辨常见故障的缘故，inficon控制板可以纪录并表明工作压力曲线图，而且可以依据工作压力的变动立即表明即时的情况：

抽真空（Pump），工作压力在持续降低

平稳（Stable），工作压力不变

放气（Outgas），工作压力在持续升高，但压升率愈来愈小

泄露（Leak），工作压力在持续升高，但压升率沒有显著的转变

控制板的身后带可收拢的支撑架，可以斜着立在桌面；也有磁石，可以黏住管路，声卡机架，乃至泵的身上。联接规管的螺旋式铜线便捷收纳整理，较长可以拖到2米高。绵软的塑胶保护壳使控制板握感舒服，又耐磨损耐摔。

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