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▲DL-10A谐振阻抗测量电路

近似地谐振阻抗Z为：Z=R×VAE/VDE。其中VAE是AE两点间的电压，VDE是DE两点间的电压。测量了阻抗，由阻抗与气体压强的关系曲线，便可知道气体的压强。例如，DL-10A型石英真空计采用FC135晶振做传感器，其阻抗与压强的关系如下所示：▲FC135晶振谐振阻抗与压强的关系

图中纵坐标△Z是谐振阻抗Z与固有阻抗Z0之差。固有阻抗是压强远小于下限即小于10-3Pa的阻抗。横坐标是压强，由图可见，在压强小于100Pa，△Z与P近似成线性关系。在104-105Pa之间，△Z与P的开方成正比。我们将上述曲线存在单片机中，测量△Z值，由数码管显示对应的压强值，这就是石英真空计的工作原理。

DL-10A设置一个零点调节按键，当压强小于10-3Pa时，按一下该按键，单片机执行中断程序，将此时的Z值存在单片机的EEPROM中。DL-10A还设置一个大气调节按键，当传感器暴露在大气时，按一下该按键，单片机执行另一中断程序，将此时的Z值存在单片机的另一EEPROM中。当仪器长时间不用或环境温度变化较大时，应进行零点调节及大气调节。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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真空计，又叫真空规。

半导体行业中，难以避免的使用真空计，主要是用于测量某一个腔室或是管路中的气体压强。

是什麽？能干什么？如何使用？

1，是什麽？真空计，字面意思，计量检定真空度的仪器设备。

2，能干什么？真空计关键用于测量真空，或是叫测量气体压强尺寸。腔室里边汽体多，压力大，气体压强大，真空计表明的标值就大；相反，真空计表明的标值小。

3，如何使用？一般便是把真空计的物理性插口，KF接口或是是外螺纹插口收到腔室上，随后把真空计的电气设备插口收到电脑上或是型的数显仪表上。那样就可以测量腔室的真空度，也可以见到真空度实际的数据了。

真空计的种类及基本原理

真空计（VacuumGauge）,又被称为真空规，是测量真空度或标准气压的仪器设备。一般利用不一样标准气压下的某类物理学效用的变动开展标准气压的测量。在科学研究和工业制造中普遍应用。依照真空计测量基本原理所利用的差异的物理学体制，可将具体的真空计分成三大类，分别是利用物理性能，利用汽体动力学模型和利用自由电子作用的真空计。

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