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AGILENT Turbo-V 1K-G分子泵维修，安捷伦Turbo-V 1K-G分子泵保养
特点：
Turbo-V 1K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为薄膜沉积设备精心设计的分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化，可以在高流速的气氛围下和温度极高的环境中工作。另外，可通过远程机架控制器或泵机一体式控制器来驱动泵。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 1K-G 成为了镀膜工业的真空解决方案。
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一、日本大阪OSAKA无法启动产生这种故障的原因如下：
(1)驱动电机电压不正确或过载。
(2)电机启动器过载保护太小或设定值太低
(3)保险丝熔断。
(4)如果真空泵配置交流电机：电机的电容器损坏。
(5) 检查真空泵油的使用情况，真空泵已返油、油温太低、油已变质、使真空泵腔内充满真空泵油，观察油质是不是已经乳化（白沫）或者碳化（变黑），真空泵油的变质会影响到旋片与转子的摩擦而导致叶片卡死在泵腔内。
(6)真空泵或电机卡死。
(7)油泵磨损或外来异物集聚
(8)抽气管堵塞。
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自从出现日本大阪真空泵及其系统之后，就在能源、化工、制药、半导体等诸多行业得到广泛应用。总体而言，干式真空泵具有环保、耐腐蚀、全封闭防泄漏等优点，抽气性能也较佳。与湿式抽真空技术相比，干式真空技术具有如下特点：
1、首先，在能耗方面，有研究表明，干式真空技术的能耗仅为采用蒸汽抽真空技术的1/11。
2、其次，在气蚀方面，干式真空技术不会产生冷凝水，也就不会出现相关化学物质导致的腐蚀问题。
3、再次，在成本方面，干式真空系统用到的设备较少，占地面积较小，总投资较小。
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