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空检漏的意义？

答：真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量，故在抽速一定时，漏气量就决定了真空度，欲使系统达到预定的极限真空，必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。从原理上讲，真空检漏可分为哪两大类？答：可以分为：1）压力检漏法，包括①充气检漏法，②卤素检漏法，③氨检漏法。2）真空检漏法，包括①高频火花检漏法，②真空计检漏法，③质谱仪检漏法。

简述真空泵的抽气原理？答：1）利用压缩作用将气体排除到泵外。a.机械周期式膨胀压缩，b.蒸汽流粘滞牵引压缩，c.刚性表面的牵引压缩。2）利用吸附作用将气体束缚于泵内。a.利用电离吸气作用，b.利用物理吸附和化学吸附作用。

真空计，又叫真空规。半导体设备中，不可避免的用到真空计，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。

是什麽？能做什么？怎么用？1，是什麽？真空计，字面意思，计量真空度的仪器。2，能做什么？真空计主要用来测量真空，或者叫测量压强大小。腔室里面气体多，压力大，压强大，真空计显示的数值就大；反之，真空计显示的数值小。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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为解决持续变动的市场的需求，该系列产品非常近新增加了大量选零配件。先前，该系列产品真空泵规仅配置RS-485插口，而如今，还装有工业生产千兆以太网Profinet和EtherCAT。与传统式计算机接口对比，他们具备数据信息传输速度极高、连接机器设备显着大量的优势，因此可以协助公司加快完成工业生产4.0总体目标。ProfiNet和EtherCat插口除此之外，除开先前选用模拟输出的版本号，现还装有电容传感器真空泵规CCT。

该真空计有着不会受到汽体类型危害和测量精度高的优点，并可用以表层的镀膜全过程的准确过程控制、低温干燥或校正试验室。电容传感器真空泵规CCT靠谱的瓷器技术性元器件具备良好的有机化学耐心和非常低的零点误差。现阶段，有温度补偿型和45℃加温型二种规格型号可挑选 。

电容传感器真空泵规CCT超滤装置或是机械泵调节时常常必须查询机械泵的真空值，每一个调试工程师都期待有一款便携式精巧而且结实耐用的真空计。为达到这类要求，inficon公布了一款携带式的真空计套服inficon。现阶段正限营销，价税合计5000元套。套服包含：数字万用表尺寸的便携式控制板，根据可伸缩式铜线联接的真空泵规管，也有便捷带上的迷你型行里箱。

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.inficon真空计的特性？答：inficon真空计是一种肯定真空计，可以得出被测压力的平方根。但inficon计只有测量被测汽体中汽体的分气体压强，不可以测量在其中可凝气体的气体压强。2.导热真空计的基本原理？根据哪些量的测量来体现导热的转变？

答：导热真空计是根据低电压汽体的导热与工作压力相关这一状况来开展测量的。它可以根据热丝电阻器的变动来体现溫度的转变，进而体现导热的转变，用此类测量方式的真空计称之为传热系数真空计，又称之为皮拉尼真空计。还可以同时用热电阻测量热丝的气温改变来体现导热的转变，称之为热偶真空计。

危害导热真空计测量低值的原因是什么？答：热丝的发热量除开汽体热传导外，还能够顺着热丝自身向两边热传导，即固态热传导；还能够以扩散的方法热传导，这二种换热方法与工作压力不相干，当工作压力较低，汽体的传发热量显著小于固态的换热和幅射热传导时，就不可以体现工作压力的变动了，即做到了测量的低值。

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