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脉冲激光沉积系统PLD客户案例：某大学电信系脉冲激光沉积系统

1.系统功能：主要用于Mn氧化物等复杂材料膜。

2.涡轮分子泵真空度要求:真空度

3.样品尺寸:6英寸

4.基片旋转,加热温度：750℃

5.膜生长控制模式:镀率/厚度/时间控制模式

真空系统配置:超高真空系统配置:涡轮分子泵400

接口:DN100CF-F

极限真空:

氮气压缩比:>1X1011涡轮分子泵80

接口:DN63CF-F

极限真空:

氮气压缩比:>1X1011隔膜泵MVP040

口径:G1/4”

极限真空:≦5mbar

抽速:2.3m3/h

涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>>

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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近日，真空推出了寿命更长、振动更小、噪声更低的新型涡轮分子泵，同时问世的还有真空专为涡轮泵转子开发的激光平衡技术。采用这项技术的相关真空泵特别适用于包括质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。真空的分子泵

高度可靠的新型涡轮分子泵：安全、耐用、抗老化、体积小巧。在控温方面，涡轮分子泵配备集成传感器，集成的转子温度测量功能可确保始终发挥很佳性能，保障其很高运行安全性。在轴承方面，的混合轴承由两部分组成：前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承，而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。

坚固耐用的轴承材料让系列涡轮分子泵的具备更高可靠性。此外，相较于其他涡轮泵，体型更加小巧紧凑，可集成到各种便携式和移动式应用中。同时，该泵还具备自动配件检测功能的Micro-USB接口，在短短几步之内即可投入使用，为用户带来便捷和高的效的使用体验。

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高度可靠的新型涡轮分子泵：安全、耐用、抗老化、体积小巧

在控温方面，涡轮分子泵配备集成传感器，集成的转子温度测量功能可确保始终发挥很佳性能，保障其很高运行安全性。在轴承方面，的复合轴承由两部分组成：前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承，而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。坚固耐用的轴承材料让系列涡轮分子泵的具备更高可靠性。

泵运转时震动和噪音大

1.转子动平衡不好；

重新进行转子动平衡；

2.轴承润滑不好或轴承损坏；

检查并修复油路，或更换轴承；

3.前级压力过高；

降低前级压力；

4.泵安放位置不正确。

按照使用说明书正确安装。

涡轮分子泵系统常见故障及排除

故障

原 因

排除方法

极限真空度低

1.前级泵不匹配，抽气量不足；

重新选配合适的前级泵；

2.系统漏气；

查出并消除漏处；

3.泵体出气。

对泵体进行烘烤除气，烘烤温度不应高于150℃。

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