广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V6000真空泵维修

目前干式螺杆真空泵国内的研究还处在起始阶段，很多技术难题还没有解决。比如转子涂层防腐蚀技术、降低排气口温度、增大转子面积利用率等问题仍然很棘手，当抽取一些活泼气体时，由于排气温度高,安全性也是需要设计中考虑的，用在需要控制音量的场合，如何降噪也要成为研究方向。但其优越的性能决定了它一定会在真空获得设备行业占主导地位，就像现在螺杆压缩机在行内的统治地位一样。

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分子泵轴承为什么会烧毁

　　原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘

　　解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘

有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？

　　原因：防护网，前级管道

　　解决方法：优化系统设计

真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？

　　原因：油池或密封不良

　　解决方法：检查油池

正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形

　　原因：过热，负载大

　　解决措施：检查冷却系，检查系统

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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罗茨真空泵市场

　　从国外罗茨泵生产情况来看，国外几家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他们各家罗茨泵的销售额占罗茨泵销售额的比例都没超过5%，这5家总计才20%，罗茨泵产量不大，但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。目前，国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统，为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵，所以国产罗茨泵一定要在占领基础上设法进入国际市场，这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声，轴封漏油问题，改进泵的外观质量，提高泵内的光洁度和清洁度。另外，还要考虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz，更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性

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分子泵叶片破碎的原因：

　　答：造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点：

　　①、误操作;比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。

　　②、是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。

　　③、电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。

　　④、前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。

　　⑤、、分子泵保养时的动平衡没有做好，这是技术的关键，动平衡差，振动就大，抽气效率就差，也容易造成轴承部分的过度磨损。

　　⑥、轴承部分没有使用原厂的标准轴承，效果和尺寸不标准等。

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TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵特性可对轻质气体实现高压缩比，同时支持高气体流速，从而能够通过 DN100 法兰以 400 L/s 的抽速在极低的极限压力下运行，同时可用于高通量应用无烃运行，可确保真空系统洁净远程控制器可在距离 100 m 处进行操作。低振动和低噪音 (43 dB(A))，打造舒适的工作环境并且可以在敏感的实验环境下运行体积小巧，可安装在任何位置，有利于轻松集成免维护轴承，零运行成本通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制，以便随时随地进行泵的操作防辐射和防磁场设计，无嵌入式电子设备，可在强磁场和辐射环境下运行低电磁辐射，确保不会干扰工艺过程泵控制软件使灵活性、速度和简便性达到化，可在泵的操作条件下始终保持气体流量和压缩比

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性能指标H2 压缩比3 x 106冷却方法Air coolingWater cooling前级管道法兰尺寸KF 25 NW前级耐压 — N210 mbar启动时间< 5 min噪音水平43 dB(A)工作位置Any建议采用的前级泵容量10 m³/h抽速 — Ar340 L/s抽速 — H2415 L/s抽速 — He505 L/s抽速 — N2380 L/s气体通量 — Ar、水冷3.3 mbar L/s；195 sccm气体通量 — N2、水冷6.2 mbar L/s；367 sccm极限真空<1 x 10–10 mbar标准和认证61326-1

61010-1

DIR 2006/42/CE

DIR 2014/35/EU

DIR 2014/30/EU

DIR 2011/65/EU法兰类型DN 100贮存环境温度-40 至 +70 °C运行环境温度+5 to +35 °C重量22.6 kg额定转速从 40.8 至 49.5 KRPM