潽拓——爱德华磁悬浮分子泵,分子泵
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Leybold MAG400磁悬浮分子泵受损严重,广州潽拓光电成功维修,整体的图片如下:
leybold MAG400磁悬浮分子泵是德国莱宝早期的单轴磁悬浮分子泵,在早期的半导体生产线中大量应用。
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莱宝真空的分子泵均不采用油润滑轴承可以从理论上完全避免分子泵对腔体产生碳氢化合物污染并且保证所有分子泵均可以任意角度安装。
TURBOVAC i/iX产品线的优势是:款无油半磁浮分子泵、模块化设计、抽速大,压比高、免维护、清洁无油
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