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单侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图郭占社等提出了基于峰值检测的微电容测量法，该方法可用于检测inficon设备上的单一电容变化量。电路采用实时峰值检测技术，只检测待测电容的变化量。 首先正弦载波信号及微分电路对inficon器件输出的电容量进行载波调制，然后通过减法电路得到幅值与电容变化量成比例的正弦信号， 很后用峰值检测方法对信号进行解调，得到直流输出。测试结果表明，该测量电路具有良好的线性，测量精度可以达到2%，灵敏度可以达到3.6V/pF。但该电路不易于小型化集成。

图2基于峰值检测的微电容测量电路框图Wang等设计了一种具有宽温度范围的基于CMOS的微电容测量电路。 电路采用相关双采样方法，Vref为输入参考电压，时钟信号Φ1、Φ2通过控制开关控制电容的充放电从而完成对敏感电容的测量。保持电容Ch1、Ch2用来存储和消除低频噪声及运算放大器的偏置电压。

电路采用结构简单、性能稳定的二阶Σ-Δ调制器来实现高的分辨率，其中电容C3=2C4。测量过程分为两个阶段，当信号Cal置“0”时，电路处于正常工作状态，输出为y；当信号Cal置“1”时，电路处于校准状态，C1和C2位置互换，此时输出为y′。两种状态下的输出信号都包含由时钟反馈回路、电荷注入效应、开关漏电流等产生的噪声，两者相减即可消除这些噪声。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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什么叫真空计校准装置？

大家都知道，不一样建设和工业化生产的设备应用条件是不一样的，例如载人航天器在空间、四轴在高处、战略核潜艇在海底……这种商品的研发实验都离不了真空自然环境。真空环境标准模拟是不是真正、及时？就必须真空计充分发挥。殊不知，这种真空计数据测试否准确，就必须用人们的“直尺”——真空计校准装置来量一量，才可以确保真空计准确测量效果的准确靠谱。

携带式真空计校准装置项目负责人详细介绍，真空计一般全是使用在真空环境监控系统实验装置上，这种装置可全是“大家”，依照传统的的计量检定校准方式，必须将上边应用的各种真空计卸下来送至试验室开展按时校准，不但提升了拆卸的劳动量，运送环节中还存有受损的风险性。真空计经常拆卸变成危害实验生产制造进展的主要要素之一。

为了确保真空计在各种安全商品的科学研究实验生产制造当场中的灵便计量检定，很多年来，真空事业部研发人员在早期技术性累积基本上，进行集智科技攻关，取得成功研发了携带式真空计校准装置。该装置解决了一直以来真空校准装置沉重没法带上到当场只有在试验室校准的瓶颈问题，完成了真空计线上校准，确保了实验生产制造每日任务不断合理开展。

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