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真空计，又叫真空规。半导体设备中，不可避免的用到真空计，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。

是什麽？能做什么？怎么用？

1，是什麽？真空计，字面意思，计量真空度的仪器。

2，能做什么？真空计主要用来测量真空，或者叫测量压强大小。腔室里面气体多，压力大，压强大，真空计显示的数值就大；反之，真空计显示的数值小。

3，怎么用？一般就是把真空计的物理接口，KF接口或者是螺纹接口接到腔室上，然后把真空计的电气接口接到电脑或者的显示仪表上。这样就可以测量腔室的真空度，也能看到真空度具体的数值了。

4，注意，真空计是有分类的，有的适合测量低真空，也就是压强大一些的；有的适合测量高真空，也就是压强小一些的。一般常用的是热电偶真空计，皮拉尼真空计，冷阴极真空计，电离真空计。

自己接触过的真空计有电离式，皮拉尼式和冷阴极式真空计。

具体各自的工作原理，大家可以搜一搜，如果需要，我下次补上，一块学习。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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DL-10A的校准曲线如下所示：▲DL-10A校准曲线横坐标是中国计量院科学院测量标准值，气样是氮气。纵坐标是DL-10A显示值。DL-10A的下限决定于Z0随时间漂移带来的误差。它主要决定于晶振的结构以及环境温度的变化。PART 02石英真空计性能

●石英真空计的精度较高，用音叉结构的晶振安装在稳定温度的金属柱上，在0.01Pa~105Pa之间测量误差为±10%。在真空计上限附近，即接近大气压经过调整后误差较小可做到3%。随着压强的减小，误差会增大。在真空计的下限误差较大。

▲DL-10A在中国计量科学院校准氮气结果

●石英真空计读数与气体种类有关，不同气体的相对压强读数也不同。下图采用的基准气体为氮气，测量不同气体时，应对该气体进行修正。▲不同气体的压强读数

●环境温度的变化会影响石英真空计的读数，在高压强不会引起很大误差，但在接近下限，会引起很大的误差。这主要体现在晶体的固有阻抗Z0随温度变化。

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感应器的实际操作理念呈现了设计和多功能性是怎么保证互相的。即便如此，可扩展性的必要性也是高过客户友的，由于液位传感器必须开展持续很多年测量和检测工作中，PS+系列产品选用特别的密封性设计方案。因而极其牢固，ISO防水等级IP6K6K、IP6K7和IP6K9K的规定，PS+系列产品

液位传感器包含选用久经考验的瓷器测量元器件(PS310)或全电焊焊接金属材料测量元器件(PS510)二种种类，这种全电焊焊接测量元器件耐过压工作能力达到额定值工作压力的7倍。必需时，感应器也可安裝值工作压力孔，因为可以载入测量值和小、大工作压力。可以完成相近具备储存作用的数显式表针真空压力表的作用。

谱拓高新科技唯实专注于给予的真空操纵、检测仪器、光机电一体化设备，以非凡的产品与服务为顾客创造财富。以科技创新为方式，以商品技术化、产业化生产制造为基本，勤奋进步成为了中国实验仪器，特别是在真空行业具备竞争优势的生产制造、服务化公司。

做为当代高新企业，谱拓高新科技唯实以自主创新、诚实守信、合理为价值观，在牢固、发展趋势目前设备的根基上，大力推广真空商品，逐步完善“以目前商品为基本，以真空商品为将来”的未来发展布局。

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